涂层

用于薄膜镀膜工艺的VAT真空阀组合，即使在不断变化的工艺条件下也能实现精确、稳定的操作。主要特点包括即使在低电导率水平下也能精确控制气体流量，最大限度地减少残余气体和颗粒物的排放，并采用模块化设计，可以对所需的真空阀进行优化配置以满足特定的工艺要求。

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