高性能真空运动部件

精确与感性

精度不仅在控制真空辅助生产过程中至关重要，而且在基材或晶圆处理本身也是如此。例如，在半导体生产中，硅片移动的可靠性和精确性对生产质量和产量效率至关重要。多年来，VAT也为其客户提供运动部件的集成，如基片或晶圆处理系统，作为真空模块生产的一部分。凭借其VAT高性能真空运动部件，VAT现在也向感兴趣的客户提供独立于我们集成解决方案的部件。

作为高性能真空运动部件领域的首批产品集团之一，VAT公司正在提供机电一体化的晶圆提升和基片提升系统。