再次获得认证,彰显了 VAT 对同工同酬的长期承诺。
通过晶体生长或拉动的方法,以获得大的单晶被广泛使用,如半导体,在大多数情况下需要控制大气条件。对这些条件的精确控制,以及无污染的操作,对生产的质量和经济性至关重要。VAT在这一领域设立了标准。
经过现场验证的技术
用于晶体生长的VAT真空阀组合包括经过现场验证的阀门概念,特别注重防止颗粒的活化和排放。控制阀的特点是特别精确和精细的可控性,即使在低电导值下也能实现可靠的过程控制。高可用性和最小的维护要求补充了这些性能特点。
要了解更多关于VAT真空阀解决方案如何帮助解决特定的晶体生长挑战,请从下面列出的产品中选择。
真空隔离标准
适用于标准高循环真空隔离
在各种恶劣条件下均可靠
在无压缩空气的情况下为密封或排气提供出色可靠性
出色的可靠性
快速且精准的下游压力控制
快速且精准的下游压力控制和隔离
卓越的可控性低电导
高压高温解决方案
可高效控制真空室的气流