经过现场验证的技术

用于晶体生长的VAT真空阀组合包括经过现场验证的阀门概念，特别注重防止颗粒的活化和排放。控制阀的特点是特别精确和精细的可控性，即使在低电导值下也能实现可靠的过程控制。高可用性和最小的维护要求补充了这些性能特点。

要了解更多关于VAT真空阀解决方案如何帮助解决特定的晶体生长挑战，请从下面列出的产品中选择。