10 月 7 日 至 9 日,我们在亚利桑那州凤凰城凤凰会议中心 6451 号展位恭候您的光临。
期待 9 月 10 日至 12 日在台北南港展览馆,TaiNEX1,1 号展厅 4 楼,M0942 展位与您见面。
期待 9 月 4 日至 6 日在中国无锡太湖国际博览中心 A6 号馆 468 展位与您见面。
期待 9 月 2 日至 4 日在新德里 Yashobhoomi 印度国际会议中心 (IICC) 1 号馆 1472 展位与您见面。
半导体是在专门设计的工艺室中分几个步骤生产的。在从一个工艺室到另一个工艺室的传输过程中,传输阀起着决定性的作用。为了优化生产时间,从而提高产量,需要快速的开启和关闭时间,以及稳定、可靠的密封。VAT传输阀在这一领域树立了标准。
用于基质传输的VAT传输阀组合,即使在变化的工艺条件下也能精确、稳定地运行。每个系列的产品在所有的性能参数上都能适应客户的具体要求。主要特点包括可调节的开闭周期,避免过压的精确自适应密封,来自一个或两个执行器的无摩擦L型运动,以及防止颗粒活化。
要了解更多关于VAT传输阀解决方案如何解决基质传输的挑战,请从下面列出的系列中选择。
适用于装载锁和工艺室隔离
快速且精准,尤其适用于腐蚀性工艺
适用于 EFEM 和负载锁定应用的高性能