化学气相沉积

用于化学气相沉积CVD工艺的VAT真空和气体计量阀不仅提供非常精确的控制，而且在与腐蚀性介质接触时具有很强的阻断力。这提高了生产质量和可用性，从而大大增强了整体盈利能力。

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