3位置真空阀

功能介于隔离阀和控制阀之间。除了打开和关闭的位置外，这些阀门还有第三个确定的可调整的阀门位置。这个闸门位置通常被设计成 “光学关闭”，也可以实现 “待机” 功能，或在减少传导的情况下实现更平滑的开启，例如，避免压力峰值。