真空炉
除了使用真空泵外，真空炉中使用的阀门技术对工艺效率和质量具有决定性作用。除了精确的控制，决定性的标准是高可靠性、坚固的设计、高可用性以及与此相关的高数量的免维护生产周期。VAT在此设立了标准。
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9月 10, 2025
活动新闻
SEMICON Taiwan 2025
期待 9 月 10 日至 12 日在台北南港展览馆，TaiNEX1，1 号展厅 4 楼，M0942 展位与您见面。
62.7 - 气体计量阀
指定产品
可在极大的压力范围内实现可再现精度
对现代自动化气体计量阀的主要要求是其可控度以及可靠且精准地遵循预定义流量设置的能力。62.7 气体计量阀系列兼备这两项功能。
62.7系列由拥有 DN 5 mm (3/16") 连接的电磁执行器驱动，能够在二十年内将压力从在< 1 x 10-8 mbar 控制到 2 bar 的范围内，达到非常精细的程度。这意味着从首次开启到全流导的气流特性能完全控制在任何压力水平。这意味着 62.7 系列不仅运行范围广，而且在一般需要多个不同阀门的情况，该系列只需提供一个阀门解决方案。此外，该系列还可提供前所未有的可控性。62.7系列的特殊隔离和控制系统（DN 5 的孔径和板机构）具有非常顺滑开启的特性，即使在电导率非常低的情况下也能避免任何压力变化峰值。
所选择的气流特性可以通过固定设置定义，也可以在动态设置中运行。在动态设置中，工艺中的 62.7 系列通过其控制器连接到压力传感器。
62.7 系列已经在各种工艺条件下进行了数千次要求苛刻的应用测试，证明了其卓越的性能。
DN 5
62.7 气体计量阀采用不锈钢制成，DN 5 尺寸使用客户指定法兰。气流特性可在外部阀压力控制器上通过个人计算机连接或通过集成至生产过程控制单元 (PCU) 来直接定义。
62.7 气体计量阀的主要特点
特点：
- 流量控制范围十分广
- 在极小流导下具有出色的可控性
- 集成式断电关闭功能
优势：
- 卓越的工艺可控性
- 一个阀门解决方案，满足不同的压力机制
- 优秀的可靠性和使用寿命
- 拥有成本较低
- 技术数据
| DN 5 mm (3/16") | ||
|---|---|---|
| 驱动器 | 电磁式 | |
| 阀体材料 | 不锈钢 | |
| 馈通件 | 轴馈通件 | |
| 标准法兰 | 指定 | |
| 泄漏率 | 阀体、阀座 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
| 压力范围 | 进气口 出口 |
< 1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs) < 1 × 10-8 mbar to 1 bar (abs) |
| 温度 | 环境 | 5 °C– 50°C |
| 材料 | 阀体 阀板 |
AISI 316L (1.4404 or 1.4435) AISI 430IL (1.4105IL) |
| 密封 | 阀板 | FPM |
| 安装位置 | 任何位置 | |
| 可控流导 | 最小/最大 | 100 sccm，500 sccm，1000 sccm，5000 sccm |
| 操作时间 | 关闭/打开 | < 30 毫秒/< 30 毫秒 |
| 控制 | 模拟 0…10 VDC (最大 100 mA) | |
| 重量 | 0.096 kg / 0.2 lbs |
