薄膜涂层
薄膜涂层工艺可以作用于许多不同的工艺,例如,CVD、PVD、MOCVD或PECVD。所有工艺的共同点是都在受控的大气条件下进行,例如在氩气环境和真空下。对真空和气体分布的精确控制对镀膜过程的效率至关重要。VAT阀门技术在这一领域设立了严格标准。
阅读更多角阀/内联阀的关键性能指标是可靠性与可变性。21.4 迷你角阀/内联阀系列结合了可靠性和可变性。21.4系列已经在各种工艺条件下进行了数千次要求苛刻的应用测试,证明了其卓越的可靠性。凭借其电磁驱动器,它能在无法获得压缩空气的应用中满足密封和通风要求。该系列有角阀和内联阀设计选项,并配有多种法兰连接器和适配器配件,几乎可满足各种要求。
 
        
     
    21.4 迷你角阀/内联阀基于坚固可靠的核心设计,可提供 DN 为 5 的 ISO-KF 法兰和 DN 为4、8、10 的适配器以及 OD 为 ¼" 和 6 的管道连接器。电磁驱动器的布置周期为两百万次。
| 泄漏率  | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
|---|---|---|
| 压力范围 | 电磁驱动器 | 1 × 10-8 mbar to 10 bar (绝对压强) | 
| 首次维护前开关次数  | 电磁驱动器 | 200 万次开关  | 
| 温度 | 电磁驱动器 | ≤ 40 °C | 
| 材料 | 阀体、波纹管、阀板 | AISI 304 | 
| 密封 | 氟橡胶  | |
| 馈通件 | 电磁驱动器 | O 型圈密封的轴馈通件 | 
| 安装位置  | 任何位置  |