可靠性和效率

真空干燥通常需要阀门的解决方案。除了下游区域的隔离阀和控制阀外，排气阀以及在自动在线干燥系统中，用于装载和卸载工艺室的传输阀也很重要。

用于真空干燥的VAT真空阀组合包括一系列的阀门系列，其特点是可靠性高，正常运行时间长，维护要求非常低。

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