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气体计量/微漏阀的常见问答

什么是气体计量阀？
气体计量阀可对通入真空腔室的气流实现精准控制，该功能对于半导体制造等应用场景的安全运行至关重要。此类阀门可在不改变气流设定值的前提下实现自动启闭，能有效防止设备运行过程中出现泄漏。同时，其可对气体管路进行调节，保障气体安全稳定输送。
什么是气体微漏阀？

气体微漏阀用于向真空系统内微量注气，应用场景多为超高真空 (UHV) 工况。在对微小泄漏或压力变化极为敏感、易导致工艺中断的关键应用中，此类阀门是保障稳定运行的核心组件。其专为敏感工况的安全运行设计，可在维持系统完整性的同时有效防止泄漏。

气体计量阀与微漏阀有哪些不同类型？

VAT 提供多种气体计量阀与微漏阀产品，包含粗调与精调计量等型号。以 21.1 系列气体计量阀为例，其具备卓越的调控性与完备的安全防护功能。59.0/59.1 系列的超高真空全金属可调式微漏阀，专为严苛的工况打造，能从容应对超高真空环境的挑战，是要求设备安全可靠运行的应用场景的理想选择。球阀与旋塞阀也可应用于各类气流调节系统中。

何时应使用高性能或超高真空微漏阀？

当气流控制对精度有超高要求时，应选用高性能或超高真空微漏阀，因为这类阀门尤其适用于各类精密系统与安全关键型系统。例如，在涉及丙烷等易燃气体的用气工况中，微漏阀可有效防止气体泄漏，降低火灾或爆炸风险。超高真空微漏阀还可在紧急工况下实现自动关合，保障系统的完整性与运行安全。

选择气体计量阀/微漏阀时需重点考虑哪些因素？
选用气体计量阀或微漏阀时，必须重点考虑流量、阀门通径、材料相容性等关键因素。例如，部分气体计量阀配备自动关合功能，可保障设备在长期运行过程中的安全稳定性。为保证耐用性，阀体材料通常优选不锈钢。阀门耐受高压气体的能力与防泄漏性能，是保障系统运行安全与使用性能的核心要求。其他考虑因素还包括安装要求，以及确保阀门工作状态良好，避免因此造成系统损坏。
VAT 气体计量阀或微漏阀的核心优势何在？

VAT 气体计量阀与微漏阀的核心优势在于精准的流量控制、卓越的耐用性，以及在各类工业工况中的安全运行能力。此类阀门专为耐受严苛工况打造，在确保运行安全的同时，最大限度减少设备磨损损耗。阀门可在维持流量设定的前提下紧密关断，能够靠防止泄漏、保障工艺安全。

针对超高真空应用场景，部分阀型配备全金属密封、可烘烤特性，并有手动与电动两种驱动方式可选。