电子显微镜、计量学、检查和缺陷审查

用于电子显微镜、计量学、检查和缺陷审查的真空阀解决方案通常是量身定做的。在选定的VAT基本技术的基础上，我们为特定的应用领域开发出最佳的解决方案，如电导率、密封性、驱动力、排气程度和颗粒自由度、耐温性以及空间要求等方面。

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