电子显微镜、计量学、检查和缺陷审查
在电子显微镜、计量学、检查和缺陷审查领域使用的真空环境的控制需要高精度的真空阀技术，需要在最小的结构尺寸下达到理想效果。VAT为该领域的定制解决方案设定了标准。
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10月 14, 2026
活动新闻
13.0 高真空 L-Gate 隔离阀
指定产品
可靠隔离，轻柔关闭
13.0 高真空 L-Gate 隔离阀专为电子枪隔离而设计，例如可用于电子显微镜。更广泛而言，它为要求颗粒产生量极低的应用提供了理想的解决方案。
该系列适用于从多种压力等级直至 10-9 mbar真空隔离。其隔离功能通过 L-Gate 技术实现，该技术采用了与 L-Motion 相似的轮廓设计，可在无摩擦的情况下实现可靠的阀板密封，从而最大限度的降低颗粒产生的风险。此外，L-Gate 技术还可实现非常轻柔的“软接触”关闭。当阀板在关闭过程中接触阀座时，这种软接触运动能够避免标准阀门通常产生的关闭冲击。
另一项关键特性是硫化阀板密封，相较于标准 O 型圈密封，这种密封方案更可靠、更耐用，同时还具有更出色的释气性能。13.0 高真空 L-Gate 隔离阀已应用于多个要求严苛的场合，并在各种工艺条件下展现出了卓越的可靠性。
多种设计与定制选项便于将其集成到不同系统中。丰富的材料选择使该解决方案能够满足广泛的应用需求。
13.0 高真空 L-Gate 隔离阀
关闭
- 镜筒
- 电子枪
- 电子束
- 阀板
光路关闭
打开
13.0 高真空 L-Gate 隔离阀可配置单作用或双作用气动执行机构及电磁阀，电磁阀既可集成安装，也可外置安装。机械式和/或电气式位置指示器显示阀门位置。
标准阀板密封材料采用硫化氟橡胶，可防止粘连并延长其使用寿命。也可根据要求提供其他密封材料。
13.0 高真空 L-Gate 隔离阀主要特点
特点：
- L-Gate 技术可避免摩擦，并最大限度减少冲击。
- 焊接金属波纹管密封馈通件
- 颗粒产生量极低
优势：
- 在高真空/超高真空条件下的性能可靠，久经验证
- 结构紧凑，占用空间小
- 维护简便
- 全生命周期成本低
- 技术数据
| 尺寸 | DN 6.3 mm (0.25"), DN 8 mm (0.31"), DN 10 mm (0.39"), DN 12 mm (0.47"), DN 16 mm (0.63"), DN 63 mm (2½"), DN 80 mm (3"), DN 100 mm (4"), DN 160 mm (6") |
||
|---|---|---|---|
| 驱动器 | 气动 | 单作用，带闭合弹簧 (NC) 或 双作用 | |
| 机体材料 | 铝 | ||
| 馈通件 | 波纹管 | ||
| 标准配置 | 定制法兰 | ||
| 真空等级 | HV | ||
| 泄漏率 | 阀体 阀座 |
< 1 × 10-9 mbar ls-1 < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
|
| 压力范围 | 1 × 10-9 mbar 至 1 bar (abs) | ||
| 阀板可承受压差 | ≤ 1.0 bar | ||
| 打开时可承受压差 | ≤ 30 mbar1) | ||
| 首次维护前开关次数 | 标准配置 定制配置 |
50 000 可按要求提供 |
|
| 温度2) | 阀体 驱动器 电磁阀 位置指示器 |
≤ 120 °C ≤ 50 °C ≤ 50 °C ≤ 50 °C |
|
| 加热和冷却速率 | ≤ 30 °C h-1 | ||
| 材料 |
铝制阀体 |
EN AW-5083 (3.3547) AISI 316L (1.4435) 钛 AISI 316L (1.4435) |
|
| 密封 | 插接式连接 闸板 |
FKM FKM |
|
| 安装位置 | 任何位置 | ||
| 电磁阀 | 24 VDC, 5.4 W (可根据要求提供其他值) | ||
| 位置指示器：触点额定值 | 可按要求提供：具体取决于阀门尺寸 | ||
| 阀门位置指示 | 视觉（机械） | ||
1）≤ 1 bar：减少首次维护前的运行循环次数。
2）最大值取决于操作条件和密封材料