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ガスドージング/ リークバルブのよくある質問

ガスドージングバルブとは？
ガスドージングバルブは、真空室へのガスの流量を高精度に制御するバルブで、特に半導体製造など高い安全性が求められる環境において不可欠です。 設定した流量を維持したまま自動で開閉し、運転中のガス漏れを防ぎます。また、ガスラインの流量調整にも役立ち、安全で安定した ガスの供給を実現します。
ガスリークバルブとは？
ガスリークバルブは、システム内に微量のガスをわずかに導入するためのバルブで、主に高真空 ( UHV)環境下などで使用されます。わずかなガス漏れや圧力変動がプロセスに影響を及ぼすような場面において重要な役割を担います。繊細な環境で安全に動作し、リークを防ぎながらシステムの完全性を維持ます。
ガスドージングバルブとリークバルブの種類

VATでは粗調整から微調整まで対応できる多様なガスドージングバルブとリークバルブをとり揃えています。例えば、21.1シリーズのガスドージングバルブは高精度な流量制御と安全機能を備えています。また、59.0/59.1 UHVオールメタル可変リークバルブのようなUHVリークバルブは、過酷な条件にも対応可能であり、超高真空環境下において安全かつ信頼性の高い動作が求められる用途に最適です。 また、ボールバルブやプラグバルブも、用途に応じてさまざまなガス流量制御システムにおいて採用されています。

高性能のUHVリークバルブを使用する場面

高性能UHVリークバルブは、高い精度でガス流量を制御する必要がある場合、なかでも高い信頼性や安全性が求められるシステムにおいて使用されます。 。例えば、プロパンなどの可燃性ガスを扱う際にはリークを防ぎ、火災や爆発のリスクを軽減します。また、緊急時には自動閉鎖機能が作動し、システムの安全性と完全性を確保します。

ガスドージングバルブやリークバルブクを選ぶ際に考慮すべき点は ？

ガスドージングバルブやリークバルブを選定する際は、流量やバルブのサイズ、材質の互換性などを考慮することが重要です。例えば、ガスドージングバルブによっては長期間の安全運転を支える自動閉鎖機能を搭載しています。耐久性の観点から、 ステンレス製が採用される場合もあります 。高圧ガスに対応しリークを防止する性能は、安全面とシステム安定運用の両面で重要になります。また、設置環境への適合性や、バルブが正常に作動するかどうかを確認することも、システムへの損傷を防ぐために考慮する必要があります。

VATのガス投与バルブとリークバルブの特長は？

VATのガスドージングバルブとリークバルブは、高精度な流量調整制御とが高い耐久性とを兼ね備え、多様な産業分野で安全にご使用いただけます。過酷な環境にも耐える堅牢な設計で、摩耗を最小限に抑えながら安全な運用を実現します。ガス流量の設定を維持したまま 確実に密閉できる性能は、リーク防止と安全性の確保において高い信頼性を担保します。

超高真空用途では、オールメタルシーリング、ベークアウト性能を備えたもの、手動式と電動式がラインナップされています。