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9月 4, 2025 イベント情報

CSEAC 2025

9月4~6日、中国・無錫太湖国際博覧センターホールA6、ブース468でお会いしましょう。

9月 2, 2025 イベント情報

SEMICON India 2025

9月2~4日、ニューデリー市のヤショブーミ(IICC)ホール1、ブース1472でお会いしましょう。

8月 7, 2025 会社ニュース

VAT becomes co-sponsor and marketing partner of Hockey Club Davos (HCD)

7月 23, 2025 投資家情報 Ad hoc

VAT media release on half-year 2025 results

Ad hoc announcement pursuant to Art. 53 LR

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  3. ガス封入弁

ガス封入弁

過圧領域でも体積流量を制御する目的の製品。非常に精密なガス流量の制御が可能です。

サイズ

フランジタイプ

バルブの機能

Actuation

Controller

21.1 - ガスドージングバルブ
21.1 1 × 10-7 mbar~4 bar (abs)

ガスドージングバルブ

制御された、再現可能なガスの流れの導入、真空室用

22.0 - ダイヤフラムバルブ
22.0 1 × 10-7 mbar~5 bar (abs)

ダイヤフラムバルブ

気体と液体向けの多目的ソリューション

59.0 - 超高真空オールメタル可変リークバルブ
59.0 超高真空~10 bar (abs)

超高真空オールメタル可変リークバルブ

極限超高真空の要件にも対応

62.7 - ガスドージングバルブ
62.7 1 × 10-8 mbar~2 bar (abs)

ガスドージングバルブ

真空チャンバー内のガス流を確実に制御

62.7 - ガスドージングバルブ
62.8

ガスドージングバルブ

真空チャンバー内のガス流を確実に制御

VATは、半導体、ディスプレイ、およびデジタル技術の製造に不可欠な高真空ソリューションの開発で世界をリードしています。

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