プロセスコントロールとアイソレーション

半導体製造における制御・隔離用のVAT真空バルブは、常に特別な要件に合わせて作られています。ご要望や用途に応じて、個々のシリーズの性能パラメータや使用するバルブ技術は、常にそれぞれのケースでお客様の特定のニーズに適合します。主な特徴としては、適応性のある開閉サイクル、安定した適応性のあるシーリング、高精度な制御を可能にする高度なコントローラ技術、パーティクルの活性化と放出防止、製造されたバルブごとに定義された安定した性能パラメータを保証する高い製造品質などがあります。

制御と隔離の課題を解決するVAT真空バルブソリューションの詳細については、以下のシリーズからお選びください。