ASA/ASA–LPフランジ　

ASAフランジは本来高圧用であったが、その後、真空用として使われてきた。ASAフランジは、他の真空規格フランジより、取付けボルト穴と呼び径（DN）との間の距離が大きい。

ASA-LP（ASA Large Port）フランジは、呼び径（DN）を大きくしたASAフランジである。フランジの外径や取付けボルト穴はASAと同一である。ASA-LPフランジは呼び径2½"から12"までに使われている。

例：
  ASA 6"の呼び径は6"
  ASA-LP 6"の呼び径は8"

 

圧空圧力　

本カタログ記載の圧空圧力は、すべて大気圧との圧力差、すなわちゲージ圧であり、“bar”で表示されている

 

圧縮永久ひずみ　

圧縮荷重を除去した後に、エラストマーシールに残ったひずみ（永久変形率）エラストマーシールの材質によるが、シール性に対して考慮する必要がある。

CS = 100 · (h_o – h₂)/(h_o – h₁)
CS … 圧縮永久ひずみ（％）
h_o … シールの元の高さ
h₁ … 圧縮時のシールの高さ
h₂ … 荷重除去後のシールの高さ

 

アウトガス量

以下の放出ガスの積算合計となる。（単位：mbar Is^-1）

• 脱離
• 拡散
• 浸透
• エラストマーおよびプラストマーガスケットからのガス放出
• ポケット部からのガス放出
• 表面堆積物の分解によるガス放出

効率的な排気と真空到達圧力の低下には、アウトガス量が低く抑えられていることが重要である。そのため、以下の対策がとられている。

• 脱離・拡散・透過率の低い材料の使用
• ポケットを作らない

 

圧空作動式アクチュエータ

VATバルブには、さまざまなタイプの圧空シリンダーおよび電磁弁と使用されている機械的なロック機構を持たないバルブでも、圧空入口にチェックバルブを取付けることにより、圧空停止時もバルブの位置を一定時間保持することができる。

 

圧力

真空の圧力　特に圧力差と規定がない限り、常に絶対圧をいう。

圧空の圧力　常に大気圧との圧力差、つまりゲージ圧をいう。

 

圧力制御 

排気とガス導入を同時に行う真空系のの圧力制御には、2通りの方法がある。

1. ダウンストリーム制御
   ポンプとプロセスチャンバー間の制御弁のコンダクタンスをコントロールバルブで変えることで圧力制御を行うため、プロセスチャンバーの実行排気速度が変化する。広範囲にわたって、圧力とガス流量を別々に制御することができる。
2. アップストリーム制御
   プロセスチャンバーへのガス流量を変化させることで圧力制御を行う。排気速度は一定に保たれている。

ベローズ　

アクチュエータシャフトに使用。VATバルブには、金属製成型ベローズまたは溶接ベローズのみ使用されている。このシーリング技術の特長は以下のとおり。

• バルブ作動時の高いシール性
• 潤滑剤が不要
• ベーク可能

 

バルブのシール 

1. アクチュエータフィードスルー
2. ボンネットシール
3. ゲートシール
4. フランジシール

バルブによっては、ボンネットフランジとアクチュエータとの間にもシールがある。このシールは、ボンネットシールと同じ材料である。

 

バルブクラスター

バルブネットワークはマスターバルブと1つ以上のスレーブバルブで構成され、マスターバルブはホストシステムによって制御され、スレーブバルブはマスターに追従する。

 

バルブシート側（A側） 

寸法図ではa、バルブにはシート側フランジ三角印   で示されてり、  の頂点がバルブの シート側を指す。どちらがシート側かということは、差圧の問題に関連して重要である（差圧の項参照）。

バルブ上のマーキング
 

第1回サービスまでのサイクル　

クリーンな条件下でバルブがメンテナンスなしに安全に開閉できるサイクル数（開－閉－開）。適切なメンテナンス後は、再び所定のサイクル数の開閉が可能となる。プロセスに起因する汚れおよび高温により、メンテナンスまでのサイクルが短くなることがある。

 

脱離　

透過・拡散の後、真空槽内の表面に吸着（物理吸着または化学吸着）したガスの放出プロセス。

バルブの製造において、脱離率（ガス放出率）の低減を図るため、以下の対策がとられている。

• 材料の選択
• 表面処理
• 洗浄
• バルブの真空下でのベーキングおよびブランクフランジ付きでの出荷（オプション）

 

DN　

呼び内径（Nominal I. D.）の項参照

 

ドライ（潤滑剤不要が不要）　

真空中で使用される潤滑剤は、フッ素系の真空グリースである。通常、固体潤滑剤および金属皮膜は潤滑剤と明記していない。

“潤滑剤不要”、または“ドライ”とは、真空中に炭化水素またはシリコーン蒸気を放出せずに、真空中での摩擦の問題に対応していることを示している。

エラストマー　

ゴムに似た特性の材料で、シール材に適している。（例：FKM）

 

FFKM　

パーフルオロ（過フッ素系）エラストマーの項参照

 

FKM　

フルオロエラストマーの項参照。

 

FlapVAT　

バルブテクノロジーとしては、フラッパを応用している。他のフラッパバルブに比べて、FlapVATバルブは長いサイクルライフを持ち、閉位置において機械的にロックされている。オプションで両方向の差圧耐圧バージョンも可能である。

機能：
圧空アクチュエータによって、メカニズムを取付けたシャフトが回転する。これにより、バルブのメカニズムは開、閉両方向に動作可能である。

 

FLEX VATRING　

このオールメタルシール方式では、比較的小さな軸方向の力で高度なシール性を発揮するシーリングパートナーはステンレス鋼製で、変形はあくまで弾性変形の範囲内にとどまる。FLEXVATRINGシステムは（極）UHVに最適で、開・閉位置において300℃までのベークアウトが可能である。クリーンな条件下であれば、1,000回以上のライフサイクルを持つ。

 

フルオロエラストマー　

フルオロ（FKM またはFPM）は耐薬品性の高いエラストマーである。フルオロエラストマーは、耐薬品性、耐熱性、機械的特性および清浄度に関して、メーカーによって若干の違いがある。

 

FPD　

フラットパネルディスプレイの略称。例として、TVやコンピューターに使用されているフラットスクリーンがあげられる。

 

フィードバック圧力制御 

構成要素：

1. ガス流量計
2. プロセスチャンバー
3. 圧力センサー
4. コントロールバルブ
5. 圧力コントローラ
6. 真空ポンプ

定常状態において、次のような計算式が適用できる。
S_eff…Q/p
S_eff…有効排気速度（ls^-1）
Q…ガス流量（mbar ls^-1）
p…圧力（mbar）

USA単位では
S_eff = 12.7 × Q/p
S_eff…有効排気速度（ls^-1）
Q…ガス流量（sccm）
p…圧力（mTorr）

動作原理：
圧力コントローラは、圧力センサーによって検出されたプロセスチャンバー内の圧力と設定圧力を比較し、その圧力差をからコントロールバルブの正しいポジションを算出する。コントローラバルブのポジションが、圧力コントローラによて制御され、チャンバー内の圧力と設定圧力と等しくなる。

この一連の動作で常時圧力制御が行われており、リーク、脱離、ガス放出、反応生成物、排気速度の変化などによるプロセスチャンバー内の圧力変化は、直ちに補正されている。
 

ガスパージ　

バルブへの直接少量のガス導入。若干の加圧状態を作り、バルブ内部へのプロセスガスの侵入を防ぐことで、バルブメカニズムやシールを汚れから保護する。

プロテクトリングとの組み合わせて使用することで、少量のガスパージ量で、プロセスへの影響を最小限に抑えることができる。ガスの種類や導入量はプロセスによるが、通常、ガスパージはプロセスガス流量の5％程度である。

Series 17ガスパージポート付きでも提供可能。

 

Gray（Gy）　

エネルギーSI単位（international measuring system）。単位質量あたりに吸収される放射線エネルギー量。

1 Gy = 1 J/kg = 100 rad

非磁性体　

強磁性体でない物質（ferromagnetic）の略称。

比透磁率μrは透磁率計で測定する。

ほとんどのVATバルブがオプションで非磁性体バージョンの提供が可能で、次の2つのクラスがある。

Class 1：
  パーツ μr < 1.05
  溶接部 μr < 1.08
 
 
Class 2：
  パーツ μr < 1.3
  溶接部 μr < 1.3
 
この低い値を得るため、特殊材料を使用。ステンレス鋼については、各加工工程で厳しい管理を行っている。小型パーツの比透磁率は、μr > 2のものもある。

 

閉方向　

閉動作において、バルブゲートがシート面に接近する方向。

 

閉／開時間　

電磁弁へのパワーの切換え（ON/OFF）とバルブゲートが全閉位置/全開位置に到達するのにかかる時間。

カタログに記載されている値は代表的な数値であり、圧空圧力、バルブの取り付け姿勢、圧空ラインの配管の断面形状や長さ、測定方法、測定システムの影響を受ける。

緊急遮断システムで使われる≪トータル閉時間≫は、センサーのトリガー信号を受けてから（センサーの応答時間を除く）、プレートが完全に閉位置に到達するのにかかる時間をいう。

 

ホットゾーン　

放射線レベルと温度の（局所的に）高いエリア。放射線レベルが高いため、通常使用される材料では、所定のサービスライフを達成できない。

使用されているシール材質により、バルブの耐放射線性は、通常103 Gy～106 Gyの範囲内である。アクチュエータは、一般に101 Gy～105 Gyの範囲内で対応している。

より高い放射線用としては、特殊アクチュエータ付きオールメタルバルブがある。

 

ホットゾーン　

放射線レベルと温度の（局所的に）高いエリア。放射線レベルが高いため、通常使用される材料では、所定のサービスライフを達成できない。

使用されているシール材質により、バルブの耐放射線性は、通常10³ Gy～10⁶ Gyの範囲内である。アクチュエータは、一般に10¹ Gy～10⁵ Gyの範囲内で対応している。

より高い放射線用としては、特殊アクチュエータ付きオールメタルバルブがある。

 

開方向 

開動作時に、バルブゲートがシート面から離れる方向。

 

品質管理 QA 

VATバルブの高い品質レベルは、TQM（総合的品質管理：Total Quality Management）システムに従って、製造・組立工程を常に管理することで達成されている。三次元測定機器、データ記録機能付の自動バルブ試験装置などの最新の測定装置を組み合わせて、SPC（統計的工程管理：Statistical Process Control）により管理を行っている。

VATバルブすべてに、以下の試験・検査が実施されている。

部品／半製品：

• 目視検査
• 寸法検査
• 動作試験
• ヘリウムリークテスト

完成品バルブ：

• 目視検査
• 動作試験
• ヘリウムリークテスト

追加試験を実施して、お客様の仕様に応じた適合証明書、受入試験証明書、検査証明書および材料証明書の提供が可能。
 

インパルス電磁弁　

ほとんどの圧空作動式VATバルブは、オプションでインパルス電磁弁付きの選択が可能である。インパルス電磁弁は短い電気パルス（＞50 ms）で作動する。作動時以外は無電流状態のため（電圧はかかっていてもよい）、停電時にバルブの最終位置を保持する。

L-motion　

L-motionは、均一なシール圧縮を可能にするゲート/シャフトの接続（特許取得）と、機械的なシーケンスとの組み合わせでゲートの正確なL- 作動を実現している。

 

L-VAT　

特にCVD等の腐食性半導体プロセスへの適用を考慮した設計。Lモーション仕切りバルブは、VulcanizedゲートシールまたはOリングゲートシールの選択が可能で、機械的メカニズムによりL-motion動作を行う。L-VATは信頼性の高い一本シャフトのアクチュエータ、ベローズ軸シールを特長としており、短時間かつ容易なメンテナンスが可能である。

MONOVAT 

VATが開発し特許を取得したエラストマーシール・ゲートバルブおよび仕切りバルブのシール方式。ショックフリー、パーティクルフリーの動作と長いサイクルライフが特長。

ニトリル

ニトリル－ブタジエンゴム（NBR）の略称。ガスケット用エラストマー材料。

オールメタルバルブ　

スタティックシールおよびシートシールが金属製のもの。潤滑剤、エラストマー、プラストマーを使用していないため、ガス放出量が非常に少なく、高温ベークが可能である。よって、極高真空に対応可能。オプションの特殊アクチュエータ使用で、エラストマーシールのバルブより高い耐放射線性（108 Gy）が得られる。

 

O- リングシール 

O- リングシールはゴムと同等の特性を持つ材質からなる。シールを圧縮して溝に圧入するが、溝とO- リングの間には小さな空隙が残る。

Vulcanized sealを参照

 

O- リング軸シール

O- リングとステムから構成され、直線運動をバルブ内部に伝達する。O- リングの潤滑剤としてフッ素系高真空グリースが使用されている。

バルブ閉で、一時的な圧力上昇が発生する場合がある。

パーティクル

バルブのパーティクルは主に部品のの摩擦部から発生する。VATはパーティクル検出用に複数の検査装置を導入しており、独自に検査を行っている。その結果、バルブからのパーティクル発生に関する深い知見を得ることができ、品質向上に繋がっている。

実際の測定には、光学測定装置（粒径＞300 nm）または微分型静電分級器（粒径＞10 nm）で試験を行っている。

VATのパーティクル試験は、粒径10 nm以上が対象

 

PEEK 

ポリエーテルエーテルケトンの略称。高い耐熱性をもつ熱可塑性樹脂。

 

パーフルオロ（過フッ素系）エラストマー

パーフルオロ（FFKM またはFFPM）はFKMの水素原子が完全にフッ素原子に置き換わったもので、FKMより耐薬品性い優れている。

 

PFA

テフロン®には、PTFE、FEPおよびPFAの3種類がある。本カタログにおけるテフロン®は、PTFEのみを指している。

PFAは高い耐薬品性（PTFEと同等の）、より高い機械的安定性および硬度が特長で、耐薬品性の高いガスケット用として使われている。

 

プラストマー

エラストマーに対し、主にプラスティックのような可塑性を持つ高分子化合物の総称。（例：PFA、Tenic®）

 

POM

熱可塑性材料、ポリオキシメチレン（ポリアセタール樹脂）の略称。

 

プロテクトリング

プロテクトリングは、開位置で、ゲートバルブの内径を変えることなく両フランジの間隙を埋めているので、ガスフローはあたかも配管を流れるのと同様になる。

プロテクトリングは、ガスフローの改善、バルブ内部の汚染の軽減、プレートシールの熱輻射からの保護（例えば、ゲートバルブがホットサブストレートのロックとして使われる場合）などに効果がある。ガスパージの併用で、バルブ内部の保護効果をさらに高めることができる。

 

PV

太陽光発電の略称。太陽光を電気エネルギーに変える技術をいう。

リーク量　

シール部またはボディからリークするヘリウムガス流量（単位：mbar Is^-1）。測定中のヘリウム分圧差は1000 mbarのオーダーである。テスト時間中（通常1分間）のヘリウムガス流量の上昇をリーク量という。テストに要する時間は、ガスケット材質のヘリウム透過率とテストを行うシステムの真空時定数による。

 

ロック機構　

バルブを閉める力が失われても、真空封止のためのシール力が機械的に保持されるバルブの内部機構のこと。通常、ジョイント部にセンターをオーバーさせる方法がとられる。

 

RFコンタクト 

バルブ開位置において、ビーム管と同形状の金属製リングが、バルブのフランジ間に直接電導性コンタクトをつくりだし、RF抵抗を低く抑えている。

真空システムのコンダクタンス計算　

配管のコンダクタンスLは、入口開口（オリフィス）のコンダクタンスLBと配管系の総合コンダクタンスLRiとの合成である。

1/L = 1/L_B+Σi 1/L_Ri
L_B … 9.2 × D²
L_R … 12.2 × D³/I（長い配管の計算式）
D … 内径（cm）
I … 各配管の長さ（cm）
L, L_B, L_R … コンダクタンス（ls^-1）

短い配管の計算式にもオリフィスと配管のコンダクタンスが含まれているが、通常、バルブには適用しない。

ポンプの実効排気速度の計算式：
1/S_eff = 1/S_o + Σi 1/L_Rii
S_o … 公称排気速度（ls^-1）
L_Ri … 配管とバルブのコンダクタンス（ls^-1）
S_o はオリフィスに相当するので、すべての配管とバルブのコンダクタンスの計算には、長い配管の計算式を用いなければならない。

 

サイクル

バルブの開－閉－開動作を1サイクルとする。

 

差圧　

閉位置のバルブゲートでの圧力差。

• シート側の圧力が高いとき、差圧は開方向に働く。
• 反対側の圧力が高いとき、差圧は閉方向に働く。

（シート側、開方向、閉方向については本解説を参照）

 

サイクルライフ　

クリーンな使用条件および標準温度で、バルブがメンテナンスなしに安全に開閉できるサイクル数（開－閉－開）。

 

SFV 

均等排気バルブの略称。プロセスガスフローが、圧力制御時にゲート周りに均一となるバルブ構成。

 

シャッター

非常に短時間で、コンダクタンスが最大の状態を微少リーク（真空封止ではない）にまで減少し、大気流入の際に衝撃波が広がるのを防ぐ。オールメタルに対応している

 

シリコン 

ガスケット材で、シリコンゴムの略称。

 

SolVAT

主として太陽電池モジュール製造用に開発されたバルブで、VATの発明したロック機構が特長である。O- リングシール付プレートにより、リークタイトな真空遮断を実現している。SolVATバルブはモジューラデザインのため、基板サイズに合わせたスケーリングが容易である。また、腐食性ガスなどの厳しい条件や高温にも強く、各種材料を組み合わせた製品の製造に対応可能である。

 

ステッピングモータ

正確な位置決めに最適であるため、コントロールバルブのアクチュエータに使用されている。

 

真空ろう付 

空隙のない接合方法で、洗浄および脱ガスの点でも理想的な接合方法である。

 

真空グリース

潤滑剤を必要とするバルブには、非常に蒸気圧の低い（＜5 × 10^-13 mbar、20 ℃）フッ素系真空グリースを使用している。

適応型制御器　

手動調整なしで圧力、ガス流量および排気速度の変化に自動的に適応するコントローラ。システムの完全自動化が可能。

 

通信インターフェイス　

DeviceNet：DeviceNet®は、産業用コントローラとフィールド機器を結ぶデジタルネットワーク。CAN（Controller Area Network）規格をベースにしている通信プロトコル。アレン・ブラッドレ－社が開発し、現在は非営利団体ODVA （DeviceNet Vendors Association）が管理している。

CC-Link：CC-Link（Control and Communications Link）は、制御データおよび情報を送信するために使用されるオープンな産業ネットワークの連合体で、その規格はアジアで広く普及している。三菱電機株式会社が社内ネットワークとして開発したものであるが、需要の増加により、オープンネットワークとしてリリースされた。

EtherCAT：EtherCAT（Ethernet for Control Automation Technology）は、Beckoff Automationが開発したEthernetベースのフィールドバス。短いデータ更新を必要とする自動化アプリケーションにこのインターフェイスを適用するために、低サイクル移管および低ジッタレート（ランタイム偏差）を達成することを目的に開発された。

Ethernet：ローカルエリアネットワーク（LAN）だけでなく、ワイドエリアネットワーク（WAN）のようなより大きなネットワークを接続するために一般に使用されるコンピュータネットワーキング技術。所定のデータフレームを使用してネットワークに接続された装置間でデータを交換するために使用される。

Logic：ユーザーが単純なデジタル信号およびアナログ信号を使用して装置と通信することを可能にする単純な通信インターフェイス。VATコントローラで使用するLogicインターフェイスは、接続されたデバイスを制御するデジタル入力およびアナログ入力をサポートしている。ステータスのクエリには、デジタルおよびアナログ出力を追加することも可能。各入/出力は、それぞれ指定された機能を有する。

Profibus：Profibus（Process Field Bus）は、自動化技術での通信に使用される国際的なフィールドバス規格。21社で開発され、BMBF（ドイツ連邦教育研究省）が推進している。Profibusは、時間が重要となるアプリケーションや複雑な通信タスクに適している。

RS232：シリアルデータ通信に広く普及した規格。1960年代初頭に EIA（Electronic Industries Association）によって開発された。RS232インターフェイスは実装が容易で、簡単なタスクに最適であるため、産業施設では現在も広く使用されている。

RS485：EIA-485としても知られるRS485インターフェイスは、シリアル通信システムで使用される工業規格で、データ伝送に差動平衡線を使用することによって干渉の影響を低減することができ、より高いクロックレートとより大きな伝送距離を可能にする。産業自動化分野で一般的に使用されている。

 

中間排気　

静的あるいは動的シールのリーク量を少なくするために、二重のシールを施し、シール間のスペースを通常0.1～10 mbar程度まで排気する。圧力差を小さくすることで、ガスの透過およびバルブ動作中のガスの巻き込みを減少させる。

 

透過（ガス透過性） 

透過は複数のプロセスを経て行われる。外壁に吸着したガスは材料中に溶解そして拡散し、内壁から脱離する。ステンレス鋼の透過によるガス放出量は、真空工業分野での使用温度では無視できる。しかし、エラストマーおよびプラストマーガスケットでは考慮する必要がある。

FKMの透過率Pは、室温に一定時間おいた場合、次のような値となる。
He P = 10 × 10^-8 cm² s^-1
O₂ P = 1 × 10^-8 cm² s^-1
N₂ P = 0.6 × 10^-8 cm² s^-1

透過によるガス流量Qは、面積A（cm²）、平均拡散距離I（cm）、差圧Δp（mbar）とすると、おおよそ次のように表される。
Q = P × A/I × Δp (mbar ls^-1)

大気圧における空気中のガスの分圧pは、次のような値となる。
He p = 5.0 × 10^-3 mbar
O₂ p = 2.1 × 10² mbar
N₂ p = 7.8 × 10² mbar

十分に脱気されたO- リングでは、空気中の窒素や酸素の透過が、ガス放出の主な要因となっている。

リークテストでは、テスト時間経過後のガスケットからのヘリウムガスの透過を大リークと誤認しがちである。

 

耐放射線性 

特殊な材料の使用により、標準のバルブに比べ電離放射線下でのサービスライフを延ばすことができる。耐放射線性（単位：Gray）は、バルブの機能に影響を及ぼさない放射線量を表している。（1 Gray=100 Rad）

 

Tenic^®

ニッケル粉末で強化したテフロン®（PTFE）で、化学用バルブのシール材として使われている。

ウェーブガイド

バルブの開位置で、短管がフランジ間に存在する形となり、短管とフランジの端末に小さな隙間が残るだけである。このため、RF抵抗は著しく減少する。

 

ウェッジシーリングシステム

Series 09のゲートバルブ用にVATが開発したシーリングシステム。

くさび形ゲートバルブは適切にシート面に押し付けられる形状になっており、非常に頑丈なシステムを作っている。O- リングの圧縮量はPEEK樹脂の可動部品によって制限されている。これによって、1 barの差圧で開動作を行っても、規定のサイクルライフではリーク量を低く抑えられる。さらに、可動部品により金属面での摩擦を防ぎ、パーティクルの発生が少ない。このように、厳しい条件のプロセス用として、重要な特長を備えたシステムである。

VATLOCK 

VATが開発し、特許を取得したゲートバルブの内部機構（例：Series 10, 11, 12, 14 に採用）。

VATLOCKシステムのゲートバルブは、閉位置において機械的にロックされている。

開位置では、内部機構はロックされておらず、板バネがバルブゲートとカウンタープレートをボールリテーナで挟んで保持しているボールの対は、凹みに位置している。

閉動作時、内部機構は閉位置に移動する。

板バネ止めがボディに達するとロックが開始される。ボールリテーナが、ボール対を凹みから押し出し、バルブゲートとカウンタープレートは押し広げられ、シールが摩擦なくシートに押し付けられる。ボールの対は、差圧がバルブプレートのいずれかの方向からかかっても、シール力を高めるように配置されている。

開動作時は逆の動きになる。

 

VATRING 

このオールメタルシール方式では、比較的小さな閉めつけ力または軸方向の力で高度なシール性を発揮する。シーリングパートナーはステンレス鋼製で、変形はあくまで弾性変形の範囲内にとどまる。VATRINGシステムは（極）UHVに最適で、開位置において450℃まで、閉位置おいて350℃までのベークアウトが可能である。クリーンな条件下であれば、100,000回以上のサイクルライフを持つ。

 

VATSEAL 

VATが開発し、特許を取得したフランジ用のメタルガスケットで、適切なフラットシール面をもつ平行フランジのみで用いられる。

 

VATTERFLY 

VATTERFLYバルブでは、まず、バルブプレートがシートシールを擦ることなく閉位置にスイングし、それから真空シールのためにプレートを押し付けるという、ゲートバルブと似た動作を行っている。旋回式プレートバルブであり、ゲートバルブに代わる小型で費用対効果の高い選択肢となることが多い。VATTERFLYバルブは、まず、ゲートがゲートシートと摩擦を起こすことなく、弧を描くように閉位置に移動する。プレートが旋回して真空密閉とロックがなされるという、ゲートバルブと似た密閉動作を行っている。

Series 20.3/20.4は回転O- リング軸シール方式が特長。

 

Vulcanized seal 

UHVバルブおよびMONOVAT形式のバルブに採用されているFKM等を直接焼き付けたダイナミックシール。（例：Series 01, 02, 03, 04, 05, 10.8, 15, 20）。

Vulcanized sealは、O- リングシールに比べて次のような利点がある。

• 動作中の信頼性の向上：シールが粘着または差圧により溝から外れることがない。
• 容易なメンテナンス：溝がなくシール面がフラットなので、クリーニングが容易である。
• 真空性能の向上：シールラインはただ一本で、ガス放出の原因となる空隙や不純物が隠れる場所がない。

Vulcanized sealの材料には、フルオロエラストマー、パーフルオロエラストマー、シリコンゴムまたはEPDMが可能である。ガス放出率、透過量およびベーク温度は、厳選された高品質のO- リングシールと同等である。
 

XL-VAT 

OリングゲートシールのL-motion大型・角型ゲートバルブで、本来はFPD製造用に開発されたものである。XL-VATバルブはモジューラデザインのため、基板サイズに合わせたスケーリングが容易である。ロック機構の圧空は圧力制御ユニットにより制御されているため、ゲートのO- リングへの過重な負荷を防ぐことができる。さらに、XL-VATはメンテナンスが非常に容易な設計になっている。

呼び内径（DN） 

フランジのサイズ。呼び内径（DN）は、フランジまたは配管の実際の内径と一致するとは限らない。

 

溶接短管 

配管に直接溶接する、または特殊フランジをユーザーが取付ける場合、フランジに代えバルブを短管付きとすることもできる。