結晶成長

結晶成長用のVAT真空バルブは、粒子の活性化と放出を防ぐことに特化した、現場で実証済みのバルブコンセプトで構成されています。コントロールバルブは、特に精密で繊細な制御性を特徴としており、低コンダクタンス値でも信頼性の高いプロセス制御が可能です。また、メンテナンスの必要性を最小限に抑えることで、高い可用性を実現しています。

結晶成長の課題を解決するためのVAT真空バルブソリューションの詳細については、以下の製品からお選びください。