VATがスイスのFair-ON-Pay Advancedの再認証を取得
一般的にドライエッチングは、半導体材料のマスクパターンをイオン照射(通常は反応性ガスのプラズマ)によって除去・エッチングし、露出した表面から材料を排出します。このプロセスでは、副生成物の凝固、堆積により真空バルブの機能や信頼性に影響を与える可能性があります。
ドライエッチングプロセスによる多層スタックの大量生産には、最適なシーリング技術(セルフクリーニング機能付き)と、高い稼働率を実現するための全体的に堅牢なツール設計が必要です。VATの真空バルブソリューションは、プロセスの安全性を高め、装置の稼働率を向上させる革新的な機能を提供します。
ドライエッチングプロセスの問題を解決するVAT真空バルブソリューションの詳細については、以下の製品からお選びください。
ディスプレイ生産システム向けの高性能
ディスプレイ生産システム向けの高性能 - 大気圧バージョン
ディスプレイおよびPV生産システムの優れたパフォーマンス
大容量の真空流や過酷な条件に対応するコンパクトなデザイン
妥協のない柔軟性と信頼性
妥協のない信頼性
乱流や圧力振動を回避、高コンダクタンススペクトラム(DN 100~160)
SEMI,FPD製造装置の圧力制御と真空封止用に最適