有機ELディスプレイは、高画質、低消費電力、シンプルなデザインにより、超薄型、フレキシブル、折り畳み式、透明などの新世代ディスプレイを実現します。蒸着プロセスは、OLEDディスプレイの典型的な高精度・大容量のカラーパターニングを実現するための最良の方法です。高品質で経済的な生産を実現するためには、最先端の真空バルブ技術が必要です。
OLEDの製造に使用される有機発光材料は、周囲の湿気や酸素の侵食を受けやすい。そのため、正確なプロセス制御が必要不可欠です。制御、隔離、転送用のVAT真空バルブソリューションは、必要な精度とプロセスの安定性を提供します。
OLED蒸着の課題解決に向けたVAT真空バルブソリューションの詳細については、以下の製品からお選びください。
第6世代までのディスプレイおよびPV生産システムで発揮される優れたパフォーマンス
ディスプレイ生産システム向けの高性能
ディスプレイ生産システム向けの高性能 - 大気圧バージョン
ディスプレイにおける卓越した性能
エバポレーターやスパッタリング用途でのポンプアイソレーションに最適
大容量の真空流や過酷な条件に対応するコンパクトなデザイン
妥協のない柔軟性と信頼性
妥協のない信頼性
乱流や圧力振動を回避、高コンダクタンススペクトラム(DN 100~160)