イオン注入

イオン注入装置内の真空状態を最適に隔離・制御するためには、プロセスにおいて物理的に中立な動作を示しながら、精密な制御を可能にする真空バルブが必要です。

イオン注入プロセスの問題を解決するためのVAT真空バルブソリューションの詳細については、以下の製品からお選びください。