12月 17, 2025
イベント情報
Semicon Japan 2025
12月17日~19日、東京ビッグサイトのW2263ブースにてお待ちしております。
VATの高性能真空バルブは、真空アプリケーションに必要な制御弁やアイソレーションバルブに特別な要求がある場合に、その強みを発揮します。特に、精密な制御、可変の閉止・動作プロファイル、自己調整式のシール圧調整、低パーティクルエミッションに関しては、VATの真空バルブが標準となります。
具体的なアプリケーションでのVATのサポートについては、以下のアプリケーション例からお選びください。