真空炉
真空ポンプに加えて、真空炉で使用されるバルブ技術は、プロセスの効率と品質に決定的な影響を与えます。精密な制御に加えて、高い信頼性、堅牢な設計、高い稼働率、それに伴うメンテナンスフリーの生産サイクル数の多さが決定的な基準となります。ここではVATが基準となります。
詳細情報最新の自動ガスドージングバルブに求められるのは、制御性の高さだけではなく、事前に定義した流量設定に確実かつ正確に従う能力です。ガスドージングバルブSERIES 62.7は、どちらも提供します。
62.7 シリーズは、DN 5 mm (3/16 インチ) 接続の電磁アクチュエータによって駆動し、< 1 x 10-8 mbarから2 barまでの範囲で、20倍以内の圧力を非常に細かく制御することができます。これにより、初期開口部からフルコンダクタンスまでの流量特性をあらゆる圧力レベルで完全に制御できます。それだけでなく、SERIES 62.7は動作範囲も広く、通常は数種類のバルブが必要なところを1つのバルブで解決できるという優れた特性を持っています。また、これまでにない制御性を実現しています。62.7の特殊な隔離・制御システム、DN 5の開口部とプレート機構が、極めて低いコンダクタンスでも圧力変化のピークがない、非常にスムーズな開動作特性を実現します。
選択された流量特性は、固定の設定で定義することもできるほか、SERIES 62.7をコントローラ経由でプロセス内の圧力センサに接続することで、動的な設定で動作させることもできます。
プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のあるSERIES 62.7は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の性能を証明してきました。
DN 5
ガスドージングバルブSERIES 62.7はステンレス鋼製で、DN 5ではお客様ご指定のフランジををご用意しております。ガスの流量特性は、PCに接続して外部のバルブ圧力コントローラに直接定義することも、生産プロセスコントロールユニット(PCU)に統合することもできます。
特徴:
メリット:
DN 5 mm (3/16") | ||
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アクチュエータ | 電磁式 | |
ボディ素材 | ステンレス鋼 | |
フィードスルー | シャフトフィードスルー | |
標準フランジ | お客様指定 | |
漏れ率 | バルブ本体、バルブシート | < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
圧力範囲 | 入口 出口 |
< 1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs) < 1 × 10-8 mbar to 1 bar (abs) |
許容温度 | 周囲温度 | 5 °C~50 °C |
材料 | バルブ本体 プレート |
AISI 316L (1.4404または1.4435) AISI 430IL (1.4105IL) |
シール | プレート | FPM |
取り付け位置 | 自由 | |
制御可能コンダクタンス | 100 sccm、500 sccm、1000 sccm、5000 sccm | |
動作時間 | 閉動作/開動作 | < 30 ms / < 30 ms |
制御 | アナログ0...10VDC (最大 100 mA) | |
重量 | 0.096 kg / 0.2 lbs |