極めて大きな圧力範囲で再現可能な精度

最新の自動ガスドージングバルブに求められるのは、制御性の高さだけではなく、事前に定義した流量設定に確実かつ正確に従う能力です。ガスドージングバルブSERIES 62.7は、どちらも提供します。

62.7 シリーズは、DN 5 mm (3/16 インチ) 接続の電磁アクチュエータによって駆動し、< 1 x 10-8 mbarから2 barまでの範囲で、20倍以内の圧力を非常に細かく制御することができます。これにより、初期開口部からフルコンダクタンスまでの流量特性をあらゆる圧力レベルで完全に制御できます。それだけでなく、SERIES 62.7は動作範囲も広く、通常は数種類のバルブが必要なところを1つのバルブで解決できるという優れた特性を持っています。また、これまでにない制御性を実現しています。62.7の特殊な隔離・制御システム、DN 5の開口部とプレート機構が、極めて低いコンダクタンスでも圧力変化のピークがない、非常にスムーズな開動作特性を実現します。

選択された流量特性は、固定の設定で定義することもできるほか、SERIES 62.7をコントローラ経由でプロセス内の圧力センサに接続することで、動的な設定で動作させることもできます。

プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のあるSERIES 62.7は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の性能を証明してきました。

 

DN 5

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ガスドージングバルブSERIES 62.7はステンレス鋼製で、DN 5ではお客様ご指定のフランジををご用意しております。ガスの流量特性は、PCに接続して外部のバルブ圧力コントローラに直接定義することも、生産プロセスコントロールユニット(PCU)に統合することもできます。


 

ガスドージングバルブSERIES 62.7の主な特徴
 

 

特徴:

  • 抜群に幅広いフロー制御範囲
  • 非常に小さなコンダクタンスでの抜群の制御性
  • 停電時のシャットダウン機能を内蔵

メリット:

  • 抜群のプロセス制御性
  • 1つのバルブで異なる圧力領域に対応
  • 優れた信頼性と寿命
  • 低コスト

 

  • 技術データ
    DN 5 mm (3/16")
アクチュエータ   電磁式
ボディ素材   ステンレス鋼
フィードスルー   シャフトフィードスルー
標準フランジ   お客様指定
漏れ率 バルブ本体、バルブシート < 1 × 10-9 mbar ls-1
圧力範囲 入口
出口
< 1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs)
< 1 × 10-8 mbar to 1 bar (abs)
許容温度 周囲温度 5 °C~50 °C
材料 バルブ本体
プレート
AISI 316L (1.4404または1.4435)
AISI 430IL (1.4105IL)
シール プレート FPM
取り付け位置   自由
制御可能コンダクタンス   100 sccm、500 sccm、1000 sccm、5000 sccm
動作時間 閉動作/開動作 < 30 ms / < 30 ms
制御   アナログ0...10VDC (最大 100 mA)
重量   0.096 kg / 0.2 lbs

 

標準製品の指定

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