適用中の絞込み
絞り込み条件

3ポジションバルブのよくある質問

3ポジション真空バルブとは？
3ポジション真空バルブは、真空システムでガス流量を制御するために使用される特殊なバルブで、全開、全閉、および調整可能な中間の３つの位置決めが可能です。中間位置を設けることにより、ガスを段階的に導入したり、チャンバー間の圧力を平衡にするなどより緻密な制御が可能になります。これは、繊細な真空環境において極めて重要な機能となります。
3ポジション真空バルブの種類は？
3ポジション真空バルブには、圧空作動式タイプがあり、シール機構や材質により高真空（HV）や超高真空（UHV）などの用途に対応しています。これらのバルブは、複雑な真空動作で複数の制御が必要とされる環境において、ガスの流れを管理するのに最適です。
3ポジション真空バルブはどのように機能するのか？
3ポジション真空バルブは、全開および全閉、調整可能な中間の３つの位置を切り替えることで作動可能です。全開時はガスが流れ、全閉時はシステムを完全に遮断します。中間位置では、ガス流量を部分的に制御したり、圧力を徐々に開放することができるため、より高度なガス流量管理が必要な、繊細な真空アプリケーションに適しています。
３ポジションバルブの位置とは？

３ポジション真空バルブの３つの位置は、以下のとおりです。

  1. 全開：ガス流路が開放された状態
  2. 全閉： ガスの流れを完全に遮断する状態
  3. 中間：用途に応じて、ガス抜き、圧力平衡化、または制御が必要なガス導入に使用される状態。
２ポジションバルブと３ポジションバルブの違いは？
2ポジションバルブには、開状態と閉状態の２つの動作状態しかありませんが、３ポジションバルブは中間位置も備えています。この中間位置により、段階的なガス抜きや圧力平衡化などの制御も可能になり、高度なガス流量制御が求められる複雑な真空システムにおいて有効です。
3ポジション真空バルブを選ぶ際に、考慮すべき点は？

3ポジション真空バルブを選ぶ際は、以下の要素について考慮する必要があります。

  • 真空レベルの適合性（例：HV、UHV）
  • シールの種類および材質： ― 使用するガスとシステムの使用圧力に適しているかどうか。
  • フローコンダクタンスとリーク量：― 特に超高真空（UHV）の高感度の用途において重要。 さらに、温度および圧力範囲が、真空システムの動作要件に適合しているかどうか。
3ポジション真空バルブ、遮断バルブ、制御バルブの主な違いとは？

これら3種類のバルブの主な違いは、真空システム内での機能性と応用性にあります。

  • ３ポジション真空バルブには、開、閉、中間位置の３つの動作状態があり、より柔軟なガス流量調整と圧力制御が可能です。
  • 遮断バルブは、ガスの流れを完全に遮断または開放するためのバルブです。メンテナンス時や真空シールを形成する際に、システムの一部を遮断するために使用されます。
  • 制御バルブは、流量を動的に調整することで、圧力と流量を連続的に制御します。そのため、ガス供給を精密に管理する必要があるプロセスに適しています。
VAT 3ポジション真空バルブの特長は？

VAT 3ポジション真空バルブの最大の特長は、高真空（HV）および超高真空（UHV）環境における精度と信頼性の高さにあります。超高真空ゲートバルブは、1 × 10-10mbar～1.2bar（abs）、高真空ゲートバルブでは1 × 10-8mbar～1.6bar（abs）の圧力範囲に対応しており、厳しい条件下でも優れた性能を発揮するため、長期的に高度な制御と安定した稼働が求められる用途に適しています。また、高い耐久性と高気密性により、動作頻度が高く、かつ重要度の高い真空用途においても安心して利用していただくことが可能です。さらに、第３の位置である中間では、内蔵の調整スクリューによってストローク範囲全体にわたり調整が可能です。これにより、高精度かつ再現性の高いプロセス制御が可能です。