VATがスイスのFair-ON-Pay Advancedの再認証を取得
腐食性ガス、研磨性ガス、有毒ガス、凝縮ガス、高濃度の副生成物など、サブファブのプロセスは、真空バルブの機能と信頼性に大きな影響を与える可能性があります。真空バルブの主な機能は次の通りです。逆流汚染の防止、流量制御、ポンプの隔離。
したがって、信頼性、安全性、可用性が、サブファブプロセスで使用される真空バルブの決定的な成功基準となります。世界中のサブファブに何千台もの真空バルブを設置してきた経験に基づき、包括的で実績のあるVAT真空バルブのポートフォリオは、サブファブのあらゆる要件に対応します。
サブファブシステムの問題を解決するためのVAT真空バルブのソリューションについては、以下のアプリケーションをお選びください。
副生成物を多く含むガス流の隔離に適した柔軟なソリューション
副生成物量を非常に多く含むガス流の隔離に適した保護ソリューション
サブファブ環境における\n真空ポンプ隔離の標準ソリューション
真空防止の標準バルブ
過酷なプロセス環境のための最大コンダクタンス
逆流を完璧に防止