サブファブシステム
腐食性ガス、研磨性ガス、有毒ガス、凝縮ガス、高濃度の副生成物など、サブファブのプロセスは、真空バルブの機能と信頼性に大きな影響を与える可能性があります。真空バルブの主な機能は次の通りです。逆流汚染の防止、流量制御、ポンプの隔離。
詳細情報
2月 11, 2026
イベント情報
25.7 高真空クイックシャットオフバルブ
製品の指定
信頼性の高い高速保護
最新のシャットオフバルブにまず求められるのは、逆流現象が発生したときに確実かつ迅速に緊急隔離できることです。25.7は、高感度で高速な隔離機能を提供することで、プロセスチャンバーやパイプシステムへの逆流のリスクを確実に防ぐように設計されています。
フロー制御式の高真空クイックシャットオフバルブ25.7は、サブシステム（センサーとアクチュエータ）を一切使用しないダイレクトオペレーション設計により、複雑さと故障のリスクを抑えた高速隔離を実現。1 barの差圧では最初の逆流インパルスから完全に隔離されるまで10ミリ秒未満と、25.7はクラスをリードするバルブです。
25.7を仕様どおりに運用するには、遮断弁のコンダクタンスを妨げないことが重要です。25.7は流量を最適化した独自設計により、高いコンダクタンスと迅速な遮断を両立し、この分野の新たな基準を打ち立てています。
ガス流中に副生成物を含むプロセス（例：フォアライン用途）では、クイックシャットオフバルブに副生成物が付着・堆積するとコンダクタンスが低下し、遮断性能に悪影響を及ぼす可能性があります。この課題に対し、当製品は特殊な表面コーティングを採用し、副生成物の付着を大幅に抑制します。さらに、バルブ表面でのプロセスガスの凝縮を防ぐため、加熱オプションもご用意しています。
開
逆流が発生した際に緊急閉止
逆流
25.7 HV クイックシャットオフバルブは、現在 DN 100〜160mm（4インチ〜6インチ）のサイズをご用意しています。
バルブ本体にはステンレス鋼を採用しており、標準フランジは ISO-K 仕様です。
腐食性の高いプロセスガスを使用する用途には、FFKMシールをお選びいただけます。
高真空クイックシャットオフバルブ25.7の主な特徴
特徴：
- フロー制御された動作
- 圧倒的に短い反応時間
- 最適化されたコンダクタンス
- 副生成物による汚染を最小限に抑える特殊な表面コーティング
メリット：
- 高い保護性能
- 長寿命
- 簡単なインストール
- 低コスト
- 技術データ
| サイズ | DN 100 (4"), DN 160 (6") | ||
|---|---|---|---|
| ボディ素材 | ステンレス鋼 | ||
| 標準フランジ | ISO-K | ||
| リークレート | バルブボディ バルブシート | < 1 × 10-9 mbar ls-1 < 1 × 10-6 mbar ls-1 | |
| 使用圧力範囲 | 真空～1.2 bar (abs) | ||
| 差圧 | ゲート部 | ≤ 1 bar | |
| コンダクタンス (層流) | DN 100 DN 160 | 6000 ls-1 20000 ls-1 | |
| 第1回サービスまでのサイクル数 | 逆流現象が発生するたび、または定期的なメンテナンスサ イクルでの実施を推奨 | ||
| 許容温度 | ゲートバルブ | ≤ 200 °C | |
| 加熱および冷却速度 | ≤ 50 °C h-1 | ||
| 材質 | バルブボディ ゲート | AISI 304 (1.4301) AISI 304 (1.4301) | |
| シール | ボンネット ゲート | FKM FKM | |
| 取り付け位置 | フォアラインの取付けは垂直方向のみ ゲートをチャンバーに向ける | ||
| トリガー圧力 | ゲート位置でΔP | ≥ 5 mbar | |
| 閉時間 | ゲート移動時間 DN 100 DN 160 |
| |
| 重量 | DN 100 DN 160 | 3.7 kg / 8.16 lbs 6.3 kg / 13.9 lbs | |