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64.2 高真空コントロールゲートバルブ

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64.2 - 高真空コントロールゲートバルブ
64.2 - 高真空コントロールゲートバルブ
サイズ参照

シリーズ

64.2 高真空コントロールゲートバルブ

品番
64248-CECY
DN 100 - 400

高サイクルの真空制御と隔離に最適

  • 技術データ
  • ダウンロード
サイズ
DN 250 (10")
フランジ
CF-F (メートルネジ)
材料
ステンレス鋼
アクチュエータ
ステッピングモーター
コントローラー
SPS、PFO搭載
コントローラー構成
SPSおよびPFO
位置表示信号
非搭載
ソレノイド
非搭載
最小圧力
1 × 10-8 mbar
最大圧力
1.2 bar (abs)
コンダクタンス
22000 ls⁻¹
ゲートにかけ得る差圧
≤ 1.2 bar
バルブを開けるときの差圧
≤ 0.03 bar
Controller interface + sensors
Ethernetインターフェース　アナログ出力2つ / センサー 1つ
インターフェース
Ethernet、センサー 1つ
閉→開
10 s
開→閉
10 s
圧力制御（スロットル）デフォルト速度時間
9 s
重量
62 kg / 136.69 lbs
アクチュエータ最大温度
≤ 50 °C
バルブ本体最大温度
≤ 150 °C
製品のアドオン
バルブ
アクチュエータ
温度管理
ゲート

64.2 HV Control Gate Valve 64248-CECY Product Datasheet

PDF 466.59 KB

64.2 HV Control Gate Valve 64248-CECY Manual

PDF 4.04 MB

64.2 HV Control Gate Valve 64248-CECY 2D Dimension Drawing

PDF 558.61 KB

スペアパーツ

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