内联阀的关键性能指标是可靠性和可变性。26.5 高真空内联阀系列兼具可靠性和可变性。26.5 系列已经在各种工艺条件下进行了数千次要求苛刻的应用测试，证明了其卓越的可靠性。凭借驱动、法兰连接、阀体材料或密封方面的各种设计选项，该系列几乎可以满足所有要求。
在低放气率至关重要的环境中，26.5 系列是高真空系统抽气和排气的理想解决方案。其可承受高压差，并配有波
纹管封装的馈通件，适用于对粒子敏感的应用。波纹管封装还可以防止任何阀门位置出现压力峰值。
基于可靠和坚固的核心设计，26.高真内联阀为从手动到气动和电磁式的驱动提供了各种设计选项。26.4 系列提供 DN 为10 至 160 mm (0.4" - 6.4") 的多种尺寸，并且可以选择各种规格的铝或不锈钢材质。法兰连接器的标准选项为 ISO-KF 和 ISO-K。
视觉位置指示器为标配，但是也可以选择添加电气指示器。如果需要，阀门可以由设备上或远距离位置的电磁阀控制。26.5 系列可以在不同的温度条件下使用，具体取决于所选的密封弹性体。该阀门可以常开、常闭或实现双作用。除了这些标准选项以外，还可以进一步进行定制。
| 尺寸 | DN 10 - 80 mm (⅜" - 6") | ||
|---|---|---|---|
| 驱动器 | 手动 气动 电磁式 |
带可拆卸方向盘 单作用，带闭合弹簧 (NC) 或开启弹簧 (NO)，或双作用 单作用，带闭合弹簧 (NC) |
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| 阀体材料 | 铝或不锈钢 | ||
| 馈通件 | 波纹管 | ||
| 标准法兰 | ISO-KF, ISO-K | ||
| 泄漏率 | 阀体、阀座 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
| 压力范围 | 带手动 / 气动驱动器的阀门 带电磁式驱动器的阀门 |
1 × 10-8 mbar 至5 bar (DN 16 - 50) 1 × 10-8 mbar 至 4 bar (DN 80) 1 × 10-8 mbar 至 2 bar (DN 10 - 40) |
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| 阀板可承受压差 | 带手动 / 气动驱动器的阀门 | 开启方向 关闭方向 |
≤ 2.0 bar (DN 16 - 50) ≤ 1.2 bar (DN 80) ≤ 5.0 bar (DN 16 - 50) ≤ 4.0 bar (DN 80) |
| 带电磁式驱动器的阀门 | ≤ 2.0 bar (DN 10 - 40) | ||
| 打开时可承受压差 | ≤ 1 bar | ||
| 首次维护前开关次数 | 带手动驱动器的阀门 带气动驱动器的阀门 带电磁式驱动器的阀门 |
10 000 (DN 10 - 80) 3 百万 (NC, NO) (DN 10 - 80) 20万 (DN 10 - 40) |
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| 温度 | 阀体 | 带手动 / 气动驱动器的阀门 带电磁式驱动器的阀门 |
≤ 150 °C ≤ 50 °C |
| 驱动器 | 手动 / 气动 电磁式 |
≤ 120 °C ≤ 50 °C |
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| 电磁阀和位置指示器 | ≤ 80 °C (DN 10 – 80) | ||
| 材料 | 铝阀体 | EN AW-6060 (3.3206), EN AW-6061 (3.3211), (DN 16 – 50) EN AW-6063 (3.3206), EN AW-6082 (3.2315) |
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| 不锈钢阀体 | AISI 304 (1.4301) (DN 10 – 50) AISI 316L (1.4404) (DN 80) |
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| 阀板 | AISI 316L (1.4404, 1.4435) | ||
| 波纹管 | AISI 316L (1.4404, 1.4435), AISI 316 Ti (1.4571) | ||
| 密封 | 阀盖、阀板 | 氟橡胶 | |
| 安装位置 | 任何位置 | ||
| 电磁阀 | 24 VDC, 2.5 W (others on request) (DN 10 – 80) | ||
| 位置指示器：触点额定值 | 电压 | 带手动 / 气动驱动器的阀门 带电磁式驱动器的阀门 |
5 – 50 VAC / DC 最大 48 VAC / DC |
| 电流 | 带手动 / 气动驱动器的阀门 带电磁式驱动器的阀门 |
5 – 100 mA 最大 500 mA |
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| 电源电压 | 带电磁式驱动器的阀门 | 100 – 120 V / 200 – 240 V / 50 – 60 Hz | |
| 工作频率 | 带电磁式驱动器的阀门 | 最大 15 min-1 at 20 °C | |
| 阀门位置指示 | 视觉（机械） | ||
