半导体无尘系统
半导体无尘工艺可能具有挑战性：腐蚀性、研磨性和有毒气体和/或气流中的冷凝水和高水平的副作用都会严重影响真空阀的功能和可靠性。真空阀的主要功能包括防止回流污染，流速控制和泵隔离。
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11月 18, 2025
活动新闻
SEMICON Europa 2025
欢迎您于 11 月 18 日至 21 日在德国慕尼黑展览中心 B1 馆 245 号展台与我们见面。
12.1 - 闸阀
指定产品
在所有条件下均能可靠隔离
12.1 闸阀采用 VATLOCK 技术，该技术旨在提供可靠的密封，同时不产生任何摩擦，从而可避免颗粒产生。
12.1 系列已经安装在数千个各种工艺条件下的要求苛刻的应用中，证明了其卓越的可靠性。其已成为压力范 围可达到 < 10-7 mbar 的真空隔离（例如与涡轮分子泵有关）的标准解决方案。
12.1 系列采用坚固的设计和直接安装选项，并且因采用分体式设计而实现了简单、轻松维护，因此其可以轻易满足所有标准要求。
驱动、法兰连接或附加真空端口的各种设计选项使其易于集成在任何真空应用中。
12.1 系列的一个关键特点是其被锁定在关闭位置，从而消除了由气动故障造成的任何真空损失风险。
12.1 闸阀可提供带电磁阀的手动和气动两种类型，作为设备上解决方案或用于外部安装均可。电磁阀的标准电为 24 VDC，但可根据要求提供其他电压。阀门位置由机械或电气位置指示器指示。
法兰连接器的标准选项为 ISO-F 和 JIS。可以集成客户指定法兰以及特殊功能，例如用于激光应用的阀板（作为无密封的阀板）。
标准阀板密封由氟橡胶 O 型密封圈提供，并且可根据要求提供其他密封件材质。
12.1 闸阀关键特点
特点:
- 设计可靠、成熟
- 避免产生颗粒的 VATLOCK 技术
- 机械锁定在关闭位置
优势:
- 性能可靠
- 分体式设计，易于清洁
- 购置成本低
- 技术数据
尺寸 | DN 63 – 320 mm (2½" – 12") | ||
|---|---|---|---|
驱动器 | 气动 | 双作用 | |
手动 | 带推杆 | ||
阀体材料 | 铝 | ||
进给机构 | 轴进给机构 | ||
标准法兰 | ISO-F, JIS | ||
泄漏率 | 阀体 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
阀座 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | ||
压力范围 | 1 × 10-10 mbar to 1.6 bar (绝对压强) (DN 63 – 200) 1 × 10-10 mbar to 1.2 bar (绝对压强) (DN 250 – 320) | ||
阀板可承受压差 | 阀板 | ≤ 1.6 bar (DN 63 – 200) ≤ 1.2 bar (DN 250 – 320) | |
打开时 | ≤ 30 mbar | ||
首次维护前开关次数 | 20万次 (DN 63 – 100) 10万次 (DN 160 – 320) | ||
温度 | 阀体 | ≤ 120 °C | |
手动和气动驱动器 | ≤ 80 °C | ||
电磁阀 | ≤ 50 °C | ||
位置指示器 | ≤ 80 °C | ||
加热和冷却速率 | ≤ 30 °C h-1 | ||
材质 | 阀体 | EN AW-5083 (3.3547, EN AW-6061 (3.3211) (DN 63 – 100) EN AC-42100 (3.2371) (DN 160 – 320) | |
机构 | AISI 304 (1.4301) (DN 63 – 100) EN AW-6082 (3.2315) (DN 160 – 320) | ||
密封 | 阀帽、阀板 | 氟橡胶（例如 Viton®） | |
安装位置 | 任何位置 | ||
电磁阀 | 24 VDC，5.4 W（可根据要求提供其他值） | ||
位置指示器：触点额定值 | 电压 | ≤ 250 VAC | ≤ 50 VDC |
电流 | ≤ 2 A | ≤ 1.2 A | |
阀门位置指示 | 视觉（机械） | ||
