照明用薄膜の蒸着

精密な薄膜蒸着プロセスは、固体照明（SSL）システム（OLEDとLEDダイオードの組み合わせ）の性能を高める上で重要な役割を果たします。SSLメーカーは、安定した品質の精密なコーティングを提供する薄膜蒸着プロセスを必要としています。付加価値の高い真空バルブは、プロセスの品質と安定性に決定的な影響を与えますが、転送バルブ、制御バルブ、隔離バルブとして使用されています。