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3月 25, 2026
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VATテクノロジーで、半導体製造の未来へ踏み出しましょう
2月 23, 2026
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Invitation to FY 2025 media and analyst conference
2月 11, 2026
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精密さ。実績。進歩。VATの真空技術をSemicon Koreaで
1月 20, 2026
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VATはサステナビリティにおいて優れた評価を獲得しました
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21.0 バタフライバルブ
21.0 - 21040-PE14
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21.0 バタフライバルブ
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シリーズ
21.0 バタフライバルブ
品番
21040-PE14
1 × 10
-8
mbar~1.3 bar (abs)
コンパクトなデザインで信頼性の高い真空封止
技術データ
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21.0 バタフライバルブ 21040-PE14 3次元CADファイル
ZIP
183.26 KB
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21.0 バタフライバルブ 21040-PE14 製品データシート
PDF
61.90 KB
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21.0 バタフライバルブ 21040-PE14 2D寸法図
PDF
200.53 KB
ダウンロード
21.0 バタフライバルブ 21040-PE14 マニュアル
PDF
2.40 MB
ダウンロード
アクセサリ-フランジ接続:
スペアパーツ
シールキット 21.0 DN100
ID: 580187
VAT真空グリース 全指定バルブ対応
ID: 583409
アクチュエータ 21.0 DN100、160
ID: 587852
ソレノイド5/2方向 (24 VAC)
ID: 586581
VAT真空グリース 全指定バルブ対応
ID: N-6951-011
ソレノイド5/2方向 (220/230 VAC)
ID: 586579
ソレノイド 5/2方向 (24 VDC)
ID: 586582
位置インジケーター、光電式 21.0 DN63、DN80、DN100、DN160、DN200、DN250
ID: 587850
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