13.1 L型超高真空遮断ゲートバルブ

13.1 L型超高真空遮断ゲートバルブは、電子顕微鏡などにおける電子銃の隔離用に特別に設計されています。また、極めて少ないパーティクル発生が求められる用途にも最適なソリューションです。

本シリーズは、最大1 x 10^-9 mbarのさまざまな真空レベルにおける真空遮断用に設計されています。本シリーズの遮断機能は、エルモーション（L-Motion）プロファイルと同様のプロファイルを採用したL型ゲートテクノロジーによって実現しています。この技術により、摩擦を伴わない信頼性の高いゲート密閉性を実現し、パーティクル発生のリスクを最小限に抑えます。さらに、L型ゲートテクノロジーによって非常に穏やかな「ソフトタッチ」クロージングが可能になります。このソフトタッチ動作により、ゲートがゲートシートに接触する際、一般的なバルブに発生する閉止時の衝撃を回避することが可能です。

もう一つの大きな特長は、バルカナイズド（vulcanized gate：加硫成形）シールです。これは標準的なOリングシールと比較して、より高い信頼性と優れた耐久性を備えた密閉ソリューションです。さらにアウトガス特性にも優れています。13.1 L型超高真空遮断ゲートバルブは、すでに要求の厳しい用途に採用されており、さまざまなプロセス条件下でも卓越した信頼性を実証しています。

豊富な設計オプションとカスタマイズ性を備えており、さまざまなシステムに組み込むことができます。また、材質の選択オプションも充実しており、幅広い用途、要件に対応が可能です。

13.1 L型超高真空遮断ゲートバルブ

13.1 L型超高真空遮断ゲートバルブは、電磁弁を備えた単動式または複動式の空気圧駆動に対応しており、内蔵型または外付型のいずれかをお選びいただけます。機械式や電気式のポジションインジケーターで、バルブの開閉位置を確認できます。

標準仕様のシーリング材にはバルカナイズドFKMを採用しており、これによりシールの固着を防ぐとともに耐用年数を延ばしています。その他のシーリング材についてもご要望に応じて対応可能です。

特徴:

• 摩擦を排除し、衝撃を最小限に抑えるL型ゲートテクノロジー
• 溶接金属ベローズシール式フィードスルー
• 極めて少ないパーティクル発生

メリット:

• 高真空または超高真空の環境下で実証された高い信頼性
• 省スペース設計
• 容易なメンテナンス
• 低い保有コスト