真空オールメタルバルブ

超高真空（UHV）および極高真空（XHV）用途向けに設計された、真空オールメタルバルブです。従来のエラストマーシールを使用したバルブとは異なり、当社のオールメタルバルブはハード・オン・ハードシール技術を採用しており、高い耐久性と高温・放射線への耐性を実現しています。これらのバルブは、通常ステンレス鋼などの材料で製造されており、最小限のガス放出、信頼性の高い動作、および長寿命の性能が求められる真空システムに最適です。

当社の真空オールメタルバルブにはいくつかのタイプがあり、それぞれ特定の高真空アプリケーションと環境に適しています。

• オールメタルゲートバルブ – 当社のオールメタルゲー トバルブは、高真空システム向けに設計されています。標準のゲートロックは閉鎖位置で、電源または空気圧供給が失われた場合でも、安全で信頼性の高い隔離を提供します。高温および／または放射線環境での使用に最適で、最小のリーク率を特徴としています。
• オールメタルアングルバルブ – 当社のオールメタルアングルバルブは、高耐久の遮断性能を提供し、極端な温度や放射線環境にも耐える設計となっています。これらのバルブは、UHV（超高真空）ポンプシステムと組み合わせて使用されることが多く、真空チャンバーに追加機器を接続または隔離するために用いられます。超高真空（UHV）ポンプ用途に必要な差圧に対して、バルブを開放する能力があります。
• オールメタル可変リークバルブ – XHV（超高真空）から大気圧までの極低ガス流量を正確に制御するよう設計されており、UHV（超高真空）またはXHVシステムにおいて最適な選択肢となるバルブです。手動および電動アクチュエータ仕様の両方で提供され、各アプリケーションに対応するソリューションを提供します。
• 緊急遮断バルブシステム – 当社の緊急遮断バルブシステムは、真空システムを突発的な空気流入から保護するよう設計されており、加速器（シンクロトロン、コライダー、自由電子レーザー（FEL）など）のような高感度環境での使用に適しています。通常、前端に設置され、ビームラインからの空気突入によるストレージリングへの影響を防ぐことができます。
• 特別仕様 – 特殊な要件に対応するため、当社は以下のような高度にカスタマイズされた機能を備えたバルブをご提供できます（以下、参考例になります）：
  • 特殊RF通路形状
  • RF通過部（導波管および ／ またはコロゲーション付き）
  • 低透過性
  • 非常に高い耐放射線性
  • 磁気抵抗
  • 追加冷却
  • 二重封止
  • フェイルセーフ機構
  • コンパクトおよび／または着脱可能なアクチュエータ

当社のオールメタルバルブは、極限の超高真空（UHV）および極超高真空（XHV）環境に対応するよう設計されており、信頼性の高いシーリング性能と機械的堅牢性を提供します。
 

真空オールメタルバルブを選択する際には、次のような要素を考慮する必要があります。

• シーリング技術 – 市場には通常、2種類のオールメタルシールがあります：ソフト対ハードおよびハード対ハード私たちのバルブは、最も信頼性の高い性能を実現するために、ハードオンハード技術のみを採用しています。
• 材料 – 強度と耐腐食性に優れるため、ステンレス鋼が一般的に使用されており、耐久性を確保します。それでも、この材料は非常に異なる特性を持つ複数のバリエーションで入手可能であり、実験の特定の要件に応じて選択することができます。
• 温度耐性 – 高温環境に耐える能力は、特にUHV（超高真空）システムにおいて、アウトガス低減のために加熱が頻繁に行われる場合において、オールメタルシール技術の自然な利点です。バルブで使用される材料やアクチュエータによって、到達可能な温度はしばしば高くなります。
• 流量と導通 – バルブが特定の用途に対して十分な導通を提供していることを確認することが重要です。
   

真空オールメタルバルブと従来型真空バルブの主な違いは、シーリング機構にあります。

• オールメタルバルブは金属対金属のシールを使用しており、ガス放出を最小限に抑える必要がある極限の超高真空（UHV）環境に最適です。これらのバルブは、一般的に高温や放射線に対してより耐性が高く、漏れ率が低く、従来のバルブよりも高い真空度を実現できます。
• 従来型バルブの多くは、エラストマー系シール技術に依存していますが、高温環境および／または高放射線環境に曝されると、時間の経過とともに劣化する可能性があります。従来型のバルブは多くの真空用途に適していますが、設計上、XHV（超高真空）用途には対応していません。
   

VATの全金属真空バルブは、超高真空および極高真空用途において信頼性と堅牢性に優れ、その性能の高さから世界的に高く評価されています。当社のハードオンハード全金属シール技術により、空気圧アクチュエータの使用が可能となります。このアクチュエータは、放射線や高温などの危険環境下に露出するバルブの遠隔制御に不可欠です。 ほとんどのオールメタル製品は、数千サイクルにわたりメンテナンス不要での使用が保証されており、グローバルシステムの稼働率を最大化する理想的なソリューションとなります。同時に、シンクロトロンやX-FELなどの大規模施設のお客様にとって、重要な財務上のメリットをもたらします。