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シリーズ

65.3 HV振子式コントロールバルブ

  • 65.3 - 65350-PHAF
65.3 - 65350-PHAF

シリーズ

65.3 HV振子式コントロールバルブ

品番
65350-PHAF

SEMI,FPD製造装置の圧力制御と真空封止用に最適

  • 技術データ
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サイズ
DN 320 (12")
フランジ
ISO-F
材料
硬質アルマイド加工アルミニウム
アクチュエータ
ステッピングモーター
コントローラー構成
SPS
位置表示信号
非搭載
ソレノイド
非搭載
最小圧力
1 × 10-6 mbar
最大圧力
1.2 bar (abs)
コンダクタンス
30000 ls⁻¹
ゲートにかけ得る差圧
≤ 1 bar
バルブを開けるときの差圧
≤ 1 bar
Controller interface + sensors
Profibus / センサー 2つ
閉→開
6 s
開→閉
5 s
圧力制御（スロットル） 高速時間
0.6 s
圧力制御（スロットル）デフォルト速度時間
1.1 s
圧縮空気の最大圧力
7 bar / 102 psi
圧縮空気の最小圧力
4 bar / 58 psi
重量
48 kg / 105.82 lbs
バルブ本体最大温度
≤ 120 °C
製品のアドオン
バルブ
温度管理
アクチュエータ
ゲート

65.3 HV振子式コントロールバルブ 65350-PHAF 製品データシート

PDF 254.95 KB

65.3 HV振子式コントロールバルブ 65350-PHAF 3次元CADファイル

ZIP 685.36 KB

65.3 HV振子式コントロールバルブ 65350-PHAF 2D寸法図

PDF 822.26 KB

スペアパーツ

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