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シリーズ

64.2 高真空コントロールゲートバルブ

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64.2 高真空コントロールゲートバルブ
64.2 高真空コントロールゲートバルブ
サイズ参照

シリーズ

64.2 高真空コントロールゲートバルブ

品番
64246-CECY
1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs)

高サイクルの真空制御と隔離に最適

  • 技術データ
  • ダウンロード
サイズ
DN 200 (8")
フランジ
CF-F (メートルネジ)
材料
ステンレス鋼
アクチュエータ
ステッピングモーター
コントローラー
SPS、PFO搭載
コントローラーインターフェース + センサー
Ethernetインターフェース　アナログ出力2つ / センサー 1つ
コントローラー構成
SPSおよびPFO
位置表示信号
非搭載
ソレノイド
非搭載
最小圧力
1 × 10-8 mbar
最大圧力
2.0 bar (abs)
コンダクタンス
12000 ls⁻¹
ゲートにかけ得る差圧
≤ 2 bar
バルブを開けるときの差圧
≤ 0.03 bar
インターフェース
Ethernet、センサー 1つ
閉→開
6 s
開→閉
6 s
圧力制御（スロットル）デフォルト速度時間
5 s
重量
34 kg / 74.96 lbs
アクチュエータ最大温度
≤ 50 °C
バルブ本体最大温度
≤ 150 °C
製品のアドオン
バルブ
アクチュエータ
温度管理
ゲート

64.2 高真空コントロールゲートバルブ 64246-CECY 製品データシート

PDF 258.01 KB

64.2 高真空コントロールゲートバルブ 64246-CECY マニュアル

PDF 4.04 MB

64.2 高真空コントロールゲートバルブ 64246-CECY 2D寸法図

PDF 547.65 KB

スペアパーツ

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