Vakuumventillösungen für die Elektronenmikroskopie, Metrologie, Inspektion und Defektprüfung sind in der Regel massgeschneidert. Aufbauend auf ausgewählte VAT Basistechnologien entwickeln wir die für den speziellen Anwendungsbereich optimale Lösung in puncto technischer Parameter wie Leitwert, Dichtheit, Antrieb, Grad der Ausgasung und Partikelfreiheit, Temperaturbeständigkeit sowie Platzbedarf. 

Um mehr darüber zu erfahren, wie eine VAT Vakuumventillösung bei spezifischen Ventilaufgaben der Elektronenmikroskopie, Metrologie, Inspektion und Defektprüfung helfen kann, wählen Sie bitte unten ein Produkt aus.

Relevante Serien

04.2 - HV-Transferventil mit L-VAT
04.2 1 × 10-9 mbar to 1.2 bar (abs)

HV-Transferventil mit L-VAT

für Load-Lock- und Prozesskammer-Isolation
04.3 - HV-Transferventil mit L-MOTION
04.3 1 × 10-9 mbar to 1.1 bar (abs)

HV-Transferventil mit L-MOTION

Schnell & präzise, besonders geeignet für korrosive Prozesse
05.2 - HV-Tranferventil-Insert mit L-VAT
05.2 1 × 10-9 mbar to 1.2 bar (abs)

HV-Tranferventil-Insert mit L-VAT

für Load-Lock- und Prozesskammer-Isolation
05.3 - HV-Transferventil-Insert mit L-MOTION
05.3 1 × 10-9 mbar to 1.1 bar (abs)

HV-Transferventil-Insert mit L-MOTION

Schnell & präzise, besonders geeignet für korrosive Prozesse
07.0 - HV-Atmosphärentür-Insert mit LINVAT
07.0 1 × 10-10 mbar to 1 bar (abs)

HV-Atmosphärentür-Insert mit LINVAT

High Performance für EFEM und Load-Lock-Isolation
10.8 - UHV-Schieber
10.8 1 × 10-10 mbar to 1.2 bar (abs)

UHV-Schieber

Der Standard für UHV-Absperrung
12.1 - Schieber
12.1 1 × 10-7 mbar to 1.6 bar (abs)

Schieber

Der Standard für Vakuum-Absperrung
14.0 - HV-Schieber
14.0

HV-Schieber

Für die Standard-Hochzyklus-Vakuum-Absperrung
15.2 - UHV-Schieber
15.2 1 × 10-10 mbar to 1 bar (abs)

UHV-Schieber

Außergewöhnlich niedrige Stoß- und Partikelfreisetzung
16.2 - HV-Pendel- und Isolationsventil
16.2 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

HV-Pendel- und Isolationsventil

Der Standard für Isolationsanforderungen in Evaporator- und Sputter-Anwendungen
20.3 - Klappenventil mit VATTERFLY
20.3 1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs)

Klappenventil mit VATTERFLY

Sichere Absperrung bei kontaminierenden und aggressiven Vakuum-Prozessen
21.0 - Klappenventil
21.0 1 × 10-8 mbar to 1.3 bar (abs)

Klappenventil

Zuverlässige Absperrung in kompakter Bauform
21.1 - Gasdosierventil
21.1 1 × 10-7 mbar to 4 bar (abs)

Gasdosierventil

Kontrollierter, reproduzierbarer Gasstrom für Vakuumkammern
21.3 - Flutventil
21.3 1 × 10-8 mbar to 1 bar (abs)

Flutventil

Kontrolliertes Belüften von Vakuumsystemen
24.4 - Eckventil
24.4 1 × 10-7 mbar to 5 bar (abs)

Eckventil

Kompromisslose Zuverlässigkeit für große Volumenströme
24.5 - Inline-Ventil
24.5 1 × 10-7 mbar to 5 bar (abs)

Inline-Ventil

Kompromisslose Zuverlässigkeit für große Volumenströme
26.4 - HV-Eckventil
26.4

HV-Eckventil

Zum Abpumpen und Entlüften von HV-Systemen.
26.5 - HV-Inline-Ventil
26.5 1 × 10-8 mbar to 5 bar (abs)

HV-Inline-Ventil

Kompromisslose Zuverlässigkeit
28.4 - UHV-Eckventil
28.4 5 × 10-10 mbar to 5 bar (abs)

UHV-Eckventil

Herausragend niedrige Ausgasungsrate
29.0 - HV-Eckventil mit Soft-Pump-Funktion
29.0 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

HV-Eckventil mit Soft-Pump-Funktion

Pumpen und Entlüften ohne Turbulenzen oder Druckimpulse (DN 25 - 80)
29.1 - HV-Inline-Ventil mit Soft-Pump-Funktion
29.1 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

HV-Inline-Ventil mit Soft-Pump-Funktion

Pumpen und Entlüften ohne Turbulenzen oder Druckimpulse
54.1 - UHV/XHV-Ganzmetall-Eckventil - Easy Close
54.1 XHV to 2 bar (abs)

UHV/XHV-Ganzmetall-Eckventil - Easy Close

Für extreme UHV/XHV-Anforderungen
59.0 - UHV-Ganzmetall-Feindosierventil
59.0 UHV to 10 bar (abs)

UHV-Ganzmetall-Feindosierventil

Für extreme UHV-Anforderungen
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Metall-Membranbälge

Weitere Produkte

Flanschverbinder und Dichtungen