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Feb. 11, 2026 Events

Precision. Performance. Progress. VAT vacuum technology at Semicon Korea

Jan. 20, 2026 Company

VAT achieves strong sustainability ratings

Jan. 15, 2026 Investoren Ad hoc

Medienmitteilung zum Lagebericht des 4. Quartals 2025 und vorläufiges Ergebnis des Gesamtjahres 2025

Ad-hoc-Mitteilung gemäss Art. 53 KR

Dez. 17, 2025 Events

Semicon Japan 2025

Treffen Sie uns vom 17.–19. Dezember in Japan auf der Tokyo Big Sight, Standnummer W2263.

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  3. Vakuum-Mehrventilbaugruppen

Vakuum-Mehrventilbaugruppen

Kombiventile und Ventileinheiten ermöglichen die Integration unterschiedlicher Ventilfunktionen in einer Baugruppe. Die Vorteile: reduzierte Zahl von Dichtungen und damit potenzieller Leckagen, extrem kompakte, platzsparende Bauweise sowie schnellere und einfachere Montage im Vergleich zu einer grösseren Anzahl von Einzelventilen.

92.0 Vakuum-Ventileinheit
92.0

Vakuum-Ventileinheit

Kompakt, platzsparend, effizient.

95.3 HV-Regel- und Isolationsventil-Kombisystem
95.3 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

HV-Regel- und Isolationsventil-Kombisystem

Kompakt und leistungsstark

Die VAT ist ein weltweit führendes Unternehmen in der Entwicklung von Hochvakuumlösungen, die für die Herstellung von Halbleitern, Displays und digitalen Technologien unverzichtbar sind.

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