Das UHV-Isolationsventil mit L-Gate der Baureihe 13.1 ist speziell für die Absperrung von Elektronenkanonen ausgelegt, die beispielsweise in Elektronenmikroskopen zum Einsatz kommen. Ganz allgemein ist es eine geeignetes Vakuumventil für Anwendungen, die eine äusserst geringe Partikelfreisetzung erfordern.
Die Baureihe ist für die Vakuumabsperrung bei verschiedenen Druckwerten bis zu 1 × 10-9 mbar ausgelegt. Die Absperrfunktion dieser Baureihe wird durch die Technologie des L-Gates erreicht, dessen Profil dem von L-Motion ähnelt. Diese Technologie bietet eine zuverlässige Schieberdichtung ohne jegliche Reibung und minimiert so das Risiko der Partikelfreisetzung. Darüber hinaus ermöglicht die L-Gate-Technologie besonders sanftes Schliessen mit «Soft-Touch»-Mechanismus. Durch diese sanfte Bewegung werden die Stösse beim Schliessen vermieden, die bei Standardventilen entstehen, wenn der Schieber in der Schliessbewegung den Ventilsitz berührt.
Eine weitere wichtige Eigenschaft ist die vulkanisierte Gatedichtung, eine äusserst zuverlässige und langlebigere Dichtungslösung als ein herkömmlicher O-Ring. Ein weiterer Vorteil ist eine herausragende Desorptionsrate. Das bereits in mehreren anspruchsvollen Anwendungen eingesetzte UHV-Isolationsventil mit L-Gate der Baureihe 13.1 hat seine ausgezeichnete Zuverlässigkeit bereits unter verschiedenen Prozessbedingungen unter Beweis gestellt.
Verschiedene Bauformen und individuelle Anpassungen ermöglichen die Integration in unterschiedliche Anlagen. Dank zusätzlicher Optionen bei der Werkstoffauswahl erfüllt diese Lösung zahlreiche Anwendungsanforderungen.
13.1 UHV-Isolationsventil mit L-Gate
Geschlossen
Optisch geschlossen
Offen
Das UHV-Isolationsventil mit L-Gate der Baureihe 13.1 ist mit einfach- oder doppeltwirkendem pneumatischem Antrieb mit Magnetventilen erhältlich – entweder als integrierte Lösung oder für die externe Montage. Mechanische und/oder elektrische Lagemelder zeigen die Ventilstellung an.
Der Standarddichtwerkstoff für die Schieberdichtung ist vulkanisiertes FKM. Dies reduziert des Risiko eines potentiellen Anklebens an der Dichtfläche und verlängert die Betriebsdauer. Andere Dichtwerkstoffe sind auf Anfrage erhältlich.
| Grössen | DN 6.3 mm (0.25"), DN 8 mm (0.31"), DN 10 mm (0.39"), DN 12 mm (0.47"), DN 16 mm (0.63"), DN 63 mm (2½"), DN 80 mm (3"), DN 100 mm (4"), DN 160 mm (6") |
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|---|---|---|---|
| Antrieb | Pneumatisch | Einfachwirkend mit Schliessfeder oder Doppeltwirkend | |
| Gehäusematerial | Aluminum | ||
| Durchführung | Balg | ||
| Standard-Flansche | Massgefertigter Flansch, CF-40 | ||
| Vakuumniveau | UHV | ||
| Dichtheit | Ventilgehäuse Ventilsitz |
< 1 × 10-10 mbar ls-1 < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
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| Druckbereich | 1 × 10-8 mbar to 30 mbar (abs) | ||
| Differenzdruck am Teller | ≤ 1.2 bar | ||
| Differenzdruck beim Öffnen | ≤ 30 mbar1) | ||
| Zyklen bis zur ersten War | Standardkonfiguration Individuelle Konfiguration |
50 000 Auf Anfrage |
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| Temperatur2) | Ventilgehäuse Antrieb Steuerventil Lagemelder |
≤ 120 °C ≤ 50 °C ≤ 50 °C ≤ 50 °C |
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| Aufheiz- und Abkühlrate | ≤ 30 °C h-1 | ||
| Werkstoff | Arm Teller Balg |
AISI 316L (1.4435) Titanium AISI 316L (1.4435) |
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| Dichtung | Anschluss für Insert Teller |
FKM FKM |
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| Einbaulage | Beliebig | ||
| Steuerventil | 24 VDC, 5.4 W (andere auf Anfrage) | ||
| Lagemelder: Schaltleistung | Auf Anfrage: je nach Ventilgrösse | ||
| Anzeige der Ventilstellung | Visuell (mechanisch) | ||
1) ≤ 1 bar: verringert die Anzahl der Zyklen bis zur ersten Wartung.
2) Maximalwerte: je nach Betriebsbedingungen und Dichtwerkstoffen.
