Prozesssteuerung und Prozessisolation

Die hochpräzise Regelung und Isolation von Vakuum- und Gasströmen ist in der Halbleiterfertigung unerlässlich. Sowohl im Upstream- als auch im Downstream-Prozess müssen alle Ventilfunktionen eine präzise Wiederholbarkeit über viele Zyklen garantieren. VAT Vakuumregel- und Isolationsventile setzen hier den Standard.

Das VAT Vakuumventilportfolio für Prozesssteuerung und Prozessisolation bei der Halbleiterfertigung ist immer auf die spezielle Anforderung zugeschnitten. Je nach Anforderung und Einsatzbereich sind die Leistungsparameter der einzelnen Baureihen und eingesetzten Ventiltechnologien immer an die spezifischen Kundenbedürfnisse angepasst. Wesentliche Merkmale hierbei sind: anpassbare Öffnungs- und Schliesszyklen; stabile, adaptive Dichtung; moderne Controller-Technologie, die eine hochpräzise Regelung erlaubt; das Vermeiden von Partikelaktivierung und -freisetzung sowie eine hohe Fertigungsqualität, die definierte, stabile Leistungsparameter für jedes gefertigte Ventil garantiert.

Um mehr darüber zu erfahren, wie eine VAT Vakuumventillösung Herausforderungen in der Prozesssteuerung und Prozessisolation bewältigen kann, wählen Sie aus den unten aufgeführten Baureihen aus.