Das VAT Vakuumventilportfolio für Dünnfilmabscheidung ist auf einen präzisen, stabilen Betrieb auch bei wechselnden Prozessbedingungen ausgelegt. Wesentliche Merkmale sind dabei präzise Gasflusssteuerung auch bei kleinen Leitwerten, minimierte Restgas- und Partikelemission sowie ein modulares Design, um die benötigten Vakuumventile optimal auf die jeweiligen Prozessanforderungen auslegen zu können.

Um mehr darüber zu erfahren, wie eine VAT Vakuumventillösung dabei helfen kann, Herausforderungen bei der Dünnfilm-Abscheidung zu bewältigen, wählen Sie bitte aus den unten aufgeführten Produkten.

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