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Feb. 11, 2026 Events

Precision. Performance. Progress. VAT vacuum technology at Semicon Korea

Jan. 20, 2026 Company

VAT achieves strong sustainability ratings

Jan. 15, 2026 Investoren Ad hoc

Medienmitteilung zum Lagebericht des 4. Quartals 2025 und vorläufiges Ergebnis des Gesamtjahres 2025

Ad-hoc-Mitteilung gemäss Art. 53 KR

Dez. 17, 2025 Events

Semicon Japan 2025

Treffen Sie uns vom 17.–19. Dezember in Japan auf der Tokyo Big Sight, Standnummer W2263.

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Vakuumventile
Gasdosierventile

Gasdosierventile

Für die Regelung von Volumenströmen auch im Überdruckbereich. Merkmal: Sehr präzise Dosierung von Gasflüssen.

Größe (mm)

DN 5 (1/5") DN 10 (⅜") DN 16 (⅝") DN 25 (1") DN 40 (1 ½")

Flanschtyp

CF-R (Drehflansch) ISO-KF Specific Spezial

Ventilfunktion

Gas-Dosierung

Actuation

Electromagnetic Manuell RS232-Interface / 1 Sensor Schrittmotor

Controller

Basic Version / Cluster Slave

21.1 Gasdosierventil

21.1 1 × 10^-7 mbar to 4 bar (abs)

Gasdosierventil

Kontrollierter, reproduzierbarer Gasstrom für Vakuumkammern

22.0 Membranventil

22.0 1 × 10^-7 mbar to 5 bar (abs)

Membranventil

Die Mehrzwecklösung für Gase und Flüssigkeiten

59.0 UHV-Ganzmetall-Feindosierventil

59.0 UHV to 10 bar (abs)

UHV-Ganzmetall-Feindosierventil

Für extreme UHV-Anforderungen

62.7 Gasdosierventil

62.7 1 × 10^-8 mbar to 2 bar (abs)

Gasdosierventil

Herausragende Regelbarkeit von Gasströmen für Vakuumkammern

62.8 - HV-Gasdosierventil

62.8 1 × 10^-8 mbar to 3 bar (abs)

HV-Gasdosierventil

Herausragende Regelbarkeit von Gasströmen für Vakuumkammern

Die VAT ist ein weltweit führendes Unternehmen in der Entwicklung von Hochvakuumlösungen, die für die Herstellung von Halbleitern, Displays und digitalen Technologien unverzichtbar sind.

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