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Erleben Sie die Zukunft der Halbleiterfertigung mit VAT-Technologien

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VAT Medienmitteilung zum Jahresabschluss 2025

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Feb. 23, 2026 Investoren General

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Präzision. Performance. Fortschritt. VAT-Vakuumtechnik auf der Semicon Korea

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Vakuumventile
Gasdosierventile

Gasdosierventile

Für die Regelung von Volumenströmen auch im Überdruckbereich. Merkmal: Sehr präzise Dosierung von Gasflüssen.

Größe (mm)

DN 5 (1/5") DN 10 (⅜") DN 16 (⅝") DN 25 (1") DN 40 (1 ½")

Flanschtyp

CF-R (Drehflansch) ISO-KF Specific Spezial

Ventilfunktion

Gas-Dosierung

Actuation

Electromagnetic Manuell RS232-Interface / 1 Sensor Schrittmotor

Controller

Basic Version / Cluster Slave

21.1 Gasdosierventil

21.1 1 × 10^-7 mbar to 4 bar (abs)

Gasdosierventil

Kontrollierter, reproduzierbarer Gasstrom für Vakuumkammern

22.0 Membranventil

22.0 1 × 10^-7 mbar to 5 bar (abs)

Membranventil

Die Mehrzwecklösung für Gase und Flüssigkeiten

59.0 UHV-Ganzmetall-Feindosierventil

59.0 UHV to 10 bar (abs)

UHV-Ganzmetall-Feindosierventil

Für extreme UHV-Anforderungen

62.7 Gasdosierventil

62.7 1 × 10^-8 mbar to 2 bar (abs)

Gasdosierventil

Herausragende Regelbarkeit von Gasströmen für Vakuumkammern

62.8 HV-Gasdosierventil

62.8 1 × 10^-8 mbar to 3 bar (abs)

HV-Gasdosierventil

Herausragende Regelbarkeit von Gasströmen für Vakuumkammern

Die VAT ist ein weltweit führendes Unternehmen in der Entwicklung von Hochvakuumlösungen, die für die Herstellung von Halbleitern, Displays und digitalen Technologien unverzichtbar sind.

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