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Mai 5, 2026 Events

Erleben Sie hautnah, wie die Vakuumlösungen von VAT eine genaue, zuverlässige und effiziente Halbleiterfertigung ermöglichen.

Apr. 16, 2026 Investoren Ad hoc

Medienmitteilung zum Lagebericht Q1 2026

Ad-hoc-Mitteilung gemäss Art. 53 KR

Apr. 9, 2026 Investoren General

Einladung - Telefonkonferenz zum Lagebericht des ersten Quartals 2026

März 31, 2026 Investoren Ad hoc

Sehr starker Auftragseingang im ersten Quartal; Umsatzrealisierung durch Konflikt im Mittleren Osten verzögert

Ad-hoc-Mitteilung gemäss Art. 53 KR

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  2. Vakuumventile
  3. Gasdosierventile

Gasdosierventile

Für die Regelung von Volumenströmen auch im Überdruckbereich. Merkmal: Sehr präzise Dosierung von Gasflüssen.

Größe (mm)

Flanschtyp

Ventilfunktion

Actuation

Controller

21.1 Gasdosierventil
21.1 1 × 10-7 mbar to 4 bar (abs)

Gasdosierventil

Kontrollierter, reproduzierbarer Gasstrom für Vakuumkammern

22.0 Membranventil
22.0 1 × 10-7 mbar to 5 bar (abs)

Membranventil

Die Mehrzwecklösung für Gase und Flüssigkeiten

59.0 UHV-Ganzmetall-Feindosierventil
59.0 UHV to 10 bar (abs)

UHV-Ganzmetall-Feindosierventil

Für extreme UHV-Anforderungen

62.7 Gasdosierventil
62.7 1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs)

Gasdosierventil

Herausragende Regelbarkeit von Gasströmen für Vakuumkammern

62.8 HV-Gasdosierventil
62.8 1 × 10-8 mbar to 3 bar (abs)

HV-Gasdosierventil

Herausragende Regelbarkeit von Gasströmen für Vakuumkammern

Die VAT ist ein weltweit führendes Unternehmen in der Entwicklung von Hochvakuumlösungen, die für die Herstellung von Halbleitern, Displays und digitalen Technologien unverzichtbar sind.

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