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Juni 15, 2026 Events

Mit der erstmaligen Teilnahme an den Silicon Saxony Days 2026 bringt VAT Vakuumventil-Expertise in eines der führenden Halbleiterzentren Europas ein

Juni 12, 2026 Company

Klimaziele der VAT Group von der Science Based Targets initiative (SBTi) validiert

Mai 5, 2026 Investoren Ad hoc

VAT gibt Veränderung in der Geschäftsleitung bekannt

Ad-hoc-Mitteilung gemäss Art. 53 KR

Mai 5, 2026 Events

Erleben Sie hautnah, wie die Vakuumlösungen von VAT eine genaue, zuverlässige und effiziente Halbleiterfertigung ermöglichen.

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  3. Gasdosierventile

Gasdosierventile

Für die Regelung von Volumenströmen auch im Überdruckbereich. Merkmal: Sehr präzise Dosierung von Gasflüssen.

Größe (mm)

Flanschtyp

Ventilfunktion

Actuation

Controller

21.1 Gasdosierventil
21.1 1 × 10-7 mbar to 4 bar (abs)

Gasdosierventil

Kontrollierter, reproduzierbarer Gasstrom für Vakuumkammern

22.0 Membranventil
22.0 1 × 10-7 mbar to 5 bar (abs)

Membranventil

Die Mehrzwecklösung für Gase und Flüssigkeiten

59.0 UHV-Ganzmetall-Feindosierventil
59.0 UHV to 10 bar (abs)

UHV-Ganzmetall-Feindosierventil

Für extreme UHV-Anforderungen

62.7 Gasdosierventil
62.7 1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs)

Gasdosierventil

Herausragende Regelbarkeit von Gasströmen für Vakuumkammern

62.8 HV-Gasdosierventil
62.8 1 × 10-8 mbar to 3 bar (abs)

HV-Gasdosierventil

Herausragende Regelbarkeit von Gasströmen für Vakuumkammern

VAT ist ein weltweit führendes Unternehmen in der Entwicklung von Hochvakuumlösungen, die für die Herstellung von Halbleitern, Displays und digitalen Technologien unverzichtbar sind.

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