Semicon Japan 2025
Treffen Sie uns vom 17.–19. Dezember in Japan auf der Tokyo Big Sight, Standnummer W2263.
Die Serienfertigung von „Multilayer“-Stapeln mit Trockenätzprozessen erfordert von Vakuumventilen eine optimale Dichtungstechnologie (mit Selbstreinigungsfunktion) und eine insgesamt robuste Konstruktion, ausgelegt für hohe Verfügbarkeit. VAT Vakuumventillösungen bieten hier innovative Funktionalität, um erhöhte Prozesssicherheit und verbesserte Produktivität zu gewährleisten.
Um mehr darüber zu erfahren, wie eine VAT Vakuumventillösung Herausforderungen in der Trockenätzung zu bewältigen hilft, wählen Sie bitte aus den unten aufgeführten Baureihen.