Die Verfahren der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) werden z. B. für Dünnschichtverkapselungen eingesetzt, um die Haltbarkeit eines Displays zu gewährleisten und es vor Umwelteinflüssen zu schützen. CVD-Prozesse müssen unter kontrollierten atmosphärischen Bedingungen ablaufen, die eine präzise Steuerung der Gasströme und Druckverhältnisse in der Prozesskammer erfordern. VAT Vakuum- und Gasdosierventile für CVD-Prozesse sind speziell für diese Bedingungen ausgelegt.