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Sept. 17, 2026 Events

Mit Präzision zu Leistung. Für die Fertigung von morgen. Auf der Semicon India 2026.

Sept. 2, 2026 Events

Mit Innovation zu Präzision. Für die Fertigung von morgen. Auf der Semicon Taiwan 2026.

Juli 22, 2026 Investoren Ad hoc

VAT Medienmitteilung zum Halbjahresabschluss 2026

Ad-hoc-Mitteilung gemäss Art. 53 KR

Juli 22, 2026 Investoren Ad hoc

VAT Media Release on Acquisition of Atonarp

Ad hoc announcement pursuant to Art. 53 LR

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Vakuum-Transfertüren

Dichtet, im Gegensatz zu einem Transferventil, nur eine Vakuumkammer zum Beladen oder zu Bearbeitung ab. Die andere Seite der Tür befindet sich daher immer unter Atmosphärendruck. Alle VAT Lösungen werden auf die jeweilige Anwendung maßgeschneidert.

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06.6 Gross-Transferventil /-Insert /-Tür mit SOLVAT
06.6

Gross-Transferventil /-Insert /-Tür mit SOLVAT

High Performance für PV- und andere große Beschichtungsanlagen

06.8 Gross-Transferventil /-Insert /-Tür mit FLAPVAT
06.8

Gross-Transferventil /-Insert /-Tür mit FLAPVAT

High Performance für PV und andere grosse Beschichtungssysteme

07.0 HV-Atmosphärentür-Insert mit LINVAT
07.0 1 × 10-10 mbar to 1 bar (abs)

HV-Atmosphärentür-Insert mit LINVAT

High Performance für EFEM und Load-Lock-Isolation

07.7 Gross-Transfertür-Insert mit L-VAT
07.7

Gross-Transfertür-Insert mit L-VAT

Herausragende Leistung für Display-Produktionssysteme

VAT ist ein weltweit führendes Unternehmen in der Entwicklung von Hochvakuumlösungen, die für die Herstellung von Halbleitern, Displays und digitalen Technologien unverzichtbar sind.

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