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Nov. 18, 2025 Events

SEMICON Europa 2025

Besuchen Sie uns vom 18. bis 21. November in Deutschland auf der Messe München, Halle B1, Standnummer 245.

Okt. 16, 2025 Investoren Ad hoc

VAT Medienmitteilung zum Lagebericht des dritten Quartals 2025

Ad-hoc-Mitteilung gemäss Art. 53 KR

Okt. 14, 2025 Investoren General

Einladung – Telefonkonferenz zum Lagebericht des dritten Quartals 2025

Okt. 7, 2025 Events

SEMICON West 2025

Sie finden uns von 7. – 9. Oktober 2025 am Stand 6451 im Phoenix Convention Center, Phoenix, Arizona, USA.

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Vakuum-Transfertüren

Dichtet, im Gegensatz zu einem Transferventil, nur eine Vakuumkammer zum Beladen oder zu Bearbeitung ab. Die andere Seite der Tür befindet sich daher immer unter Atmosphärendruck. Alle VAT Lösungen werden auf die jeweilige Anwendung maßgeschneidert.

Größe (mm)

Flanschtyp

Ventilfunktion

Actuation

06.6 - Groß-Transferventil /-Insert /-Tür mit SOLVAT
06.6

Groß-Transferventil /-Insert /-Tür mit SOLVAT

High Performance für PV- und andere große Beschichtungsanlagen

06.8 - Groß-Transferventil /-Insert /-Tür mit FLAPVAT
06.8

Groß-Transferventil /-Insert /-Tür mit FLAPVAT

High Performance für PV und andere große Beschichtungssysteme

07.0 - HV-Atmosphärentür-Insert mit LINVAT
07.0 1 × 10-10 mbar to 1 bar (abs)

HV-Atmosphärentür-Insert mit LINVAT

High Performance für EFEM und Load-Lock-Isolation

07.7 - Groß-Transfertür-Insert mit L-VAT
07.7

Groß-Transfertür-Insert mit L-VAT

Herausragende Leistung für Display- und PV-Produktionssysteme

Die VAT ist ein weltweit führendes Unternehmen in der Entwicklung von Hochvakuumlösungen, die für die Herstellung von Halbleitern, Displays und digitalen Technologien unverzichtbar sind.

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