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SNEC PV Power Expo 2025

Diskutieren Sie mit uns über unsere neuesten technologischen Entwicklungen. Treffen Sie uns vom 11. bis 13. Juni, in Shanghai im National Exhibition and Convention Center, Halle 1.2, Stand E550.

Juni 5, 2025 Company

VAT expands global footprint with new factory inauguration in VGP Park Arad, Romania

Mai 20, 2025 Investoren Ad hoc

Kapitalmarkttag 2025 der VAT Group

Ad-hoc-Mitteilung gemäss Art. 53 KR

Mai 20, 2025 Events

SEMICON Southeast Asia 2025

Diskutieren Sie mit uns über unsere neuesten technologischen Entwicklungen. Treffen Sie uns vom 20-22. Mai, in Singapur auf dem Sands Expo and Convention Centre, Halle C, Stand L2520.

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Vakuum-Transfertüren

Dichtet, im Gegensatz zu einem Transferventil, nur eine Vakuumkammer zum Beladen oder zu Bearbeitung ab. Die andere Seite der Tür befindet sich daher immer unter Atmosphärendruck. Alle VAT Lösungen werden auf die jeweilige Anwendung maßgeschneidert.

Größe (mm)

Flanschtyp

Ventilfunktion

Actuation

06.6 - Groß-Transferventil /-Insert /-Tür mit SOLVAT
06.6

Groß-Transferventil /-Insert /-Tür mit SOLVAT

High Performance für PV- und andere große Beschichtungsanlagen

06.8 - Groß-Transferventil /-Insert /-Tür mit FLAPVAT
06.8

Groß-Transferventil /-Insert /-Tür mit FLAPVAT

High Performance für PV und andere große Beschichtungssysteme

07.0 - HV-Atmosphärentür-Insert mit LINVAT
07.0 1 × 10-10 mbar to 1 bar (abs)

HV-Atmosphärentür-Insert mit LINVAT

High Performance für EFEM und Load-Lock-Isolation

07.7 - Groß-Transfertür-Insert mit L-VAT
07.7

Groß-Transfertür-Insert mit L-VAT

Herausragende Leistung für Display- und PV-Produktionssysteme

Die VAT ist ein weltweit führendes Unternehmen in der Entwicklung von Hochvakuumlösungen, die für die Herstellung von Halbleitern, Displays und digitalen Technologien unverzichtbar sind.

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