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Juni 15, 2026 Events

Mit der erstmaligen Teilnahme an den Silicon Saxony Days 2026 bringt VAT Vakuumventil-Expertise in eines der führenden Halbleiterzentren Europas ein

Juni 12, 2026 Company

Klimaziele der VAT Group von der Science Based Targets initiative (SBTi) validiert

Mai 5, 2026 Investoren Ad hoc

VAT gibt Veränderung in der Geschäftsleitung bekannt

Ad-hoc-Mitteilung gemäss Art. 53 KR

Mai 5, 2026 Events

Erleben Sie hautnah, wie die Vakuumlösungen von VAT eine genaue, zuverlässige und effiziente Halbleiterfertigung ermöglichen.

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Vakuum-Transfertüren

Dichtet, im Gegensatz zu einem Transferventil, nur eine Vakuumkammer zum Beladen oder zu Bearbeitung ab. Die andere Seite der Tür befindet sich daher immer unter Atmosphärendruck. Alle VAT Lösungen werden auf die jeweilige Anwendung maßgeschneidert.

Größe (mm)

Flanschtyp

Ventilfunktion

Actuation

06.6 Gross-Transferventil /-Insert /-Tür mit SOLVAT
06.6

Gross-Transferventil /-Insert /-Tür mit SOLVAT

High Performance für PV- und andere große Beschichtungsanlagen

06.8 Gross-Transferventil /-Insert /-Tür mit FLAPVAT
06.8

Gross-Transferventil /-Insert /-Tür mit FLAPVAT

High Performance für PV und andere grosse Beschichtungssysteme

07.0 HV-Atmosphärentür-Insert mit LINVAT
07.0 1 × 10-10 mbar to 1 bar (abs)

HV-Atmosphärentür-Insert mit LINVAT

High Performance für EFEM und Load-Lock-Isolation

07.7 Gross-Transfertür-Insert mit L-VAT
07.7

Gross-Transfertür-Insert mit L-VAT

Herausragende Leistung für Display-Produktionssysteme

VAT ist ein weltweit führendes Unternehmen in der Entwicklung von Hochvakuumlösungen, die für die Herstellung von Halbleitern, Displays und digitalen Technologien unverzichtbar sind.

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