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Okt. 15, 2026 Investoren Ad hoc

VAT mit Rekordquartal bei Auftragseingang und Umsatz – KI-getriebene Nachfrage sorgt für anhaltendes Wachstum

Ad-hoc-Mitteilung gemäss Art. 53 KR

Okt. 14, 2026 Events

Die VAT Group auf der WESEMiBAY 2026: Technologien verbinden für das Halbleiter-Ökosystem von morgen

Okt. 13, 2026 Events

Shaping the Future of Semiconductor Manufacturing

Okt. 7, 2026 Investoren General

Einladung - Telefonkonferenz zum Lagebericht des dritten Quartals 2026

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Vakuum-Transfertüren

Dichtet, im Gegensatz zu einem Transferventil, nur eine Vakuumkammer zum Beladen oder zu Bearbeitung ab. Die andere Seite der Tür befindet sich daher immer unter Atmosphärendruck. Alle VAT Lösungen werden auf die jeweilige Anwendung maßgeschneidert.

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06.6 Gross-Transferventil /-Insert /-Tür mit SOLVAT
06.6

Gross-Transferventil /-Insert /-Tür mit SOLVAT

High Performance für PV- und andere große Beschichtungsanlagen

06.8 Gross-Transferventil /-Insert /-Tür mit FLAPVAT
06.8

Gross-Transferventil /-Insert /-Tür mit FLAPVAT

High Performance für PV und andere grosse Beschichtungssysteme

07.0 HV-Atmosphärentür-Insert mit LINVAT
07.0 1 × 10-10 mbar to 1 bar (abs)

HV-Atmosphärentür-Insert mit LINVAT

High Performance für EFEM und Load-Lock-Isolation

07.7 Gross-Transfertür-Insert mit L-VAT
07.7

Gross-Transfertür-Insert mit L-VAT

Herausragende Leistung für Display-Produktionssysteme

VAT ist ein weltweit führendes Unternehmen in der Entwicklung von Hochvakuumlösungen, die für die Herstellung von Halbleitern, Displays und digitalen Technologien unverzichtbar sind.

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