Dichtet, im Gegensatz zu einem Transferventil, nur eine Vakuumkammer zum Beladen oder zu Bearbeitung ab. Die andere Seite der Tür befindet sich daher immer unter Atmosphärendruck. Alle VAT Lösungen werden auf die jeweilige Anwendung maßgeschneidert.
High Performance für PV- und andere große Beschichtungsanlagen
High Performance für PV und andere große Beschichtungssysteme
High Performance für EFEM und Load-Lock-Isolation
Herausragende Leistung für Display-Produktionssysteme
