Ion-Implementation

Die Ionenimplantation wird eingesetzt, um die elektrischen Eigenschaften eines Siliziumsubstrats zu verändern. Dabei handelt es sich um einen Niedertemperaturprozess, bei dem Ionen in das „Target“ beschleunigt werden. Der Erfolg von Ionenimplantationsprozessen hängt stark von der Qualität des Vakuums im Ionenimplantierer ab - und von den Vakuumventilen, die die Hochvakuumumgebung steuern und isolieren.