Substrattransfer
Halbleiter werden in mehreren Schritten in speziell dafür ausgelegten Prozesskammern produziert. Beim Transfer von einer Prozesskammer zur anderen spi...
Mehr lesen
Feb. 11, 2026
Events
07.0 HV-Atmosphärentür-Insert mit LINVAT
Produkt spezifizieren
Maximieren Sie Qualität und Produktivität mit herausragender Partikeleigenschaften
Die wichtigsten Leistungsmerkmale für Transferventile mit Kontakt zu Atmosphärendruck in Halbleiterproduktionsanlagen sind deren Partikeleigenschaften, im Sinne einer geringen Partikelaktivierung und -freisetzung sowie schnelle und zuverlässige Öffnungs- und Schliesszyklen.
Der 07.0 HV-Atmosphärentür-Insert mit LINVAT kombiniert beides, aussergewöhnliche gute Partikeleigenschaften mit optimierter Steuerbarkeit für variable und schnelle Zykluszeiten.
Installationsoptionen
Montageschrauben 4 x M6
Montageschrauben 4 x M8
Die Konstruktion des 07.0 HV-Atmosphärentür-Insert mit LINVAT konzentriert sich auf optimierte Partikeleigenschaften und sehr schnelle Zykluszeiten.
Das herausragend niedrige Niveau möglicher Partikelfreisetzungen des 07.0 wird durch die Optimierung verschiedener Konstruktionsmerkmale erreicht, wie z.B. durch einen Torsionsstab am Teller für eine gleichmässige Dichtungskompression, einem vollständig gekapselten Antrieb, einer schmiermittelfreien Umgebung und einer echten L-Bewegung zur Vermeidung eines Schliessstosses.
Die aussergewöhnliche echte L-Bewegung des 07.0 wird durch die spezielle LINVAT-Technologie von VAT erreicht. Anstelle von zwei separaten Antrieben für die vertikale und horizontale Bewegung verwendet LINVAT nur einen Antrieb in einer zweistufigen Bewegung. Das Ergebnis: Ein äusserst zuverlässiges Antriebskonzept mit einer schnellen, stabilen, einstellbaren und stossfreien Bewegung. Der Vorteil: höhere Verfügbarkeit und verbesserte Steuerbarkeit.
Hauptmerkmale des 07.0 HV-Atmosphärentür-Insert mit LINVAT
Merkmale:
- Design mit verringerter Partikelaktivierung und -freisetzung
- Fettfreie Betriebsumgebung
- Aussergewöhnliche präzise L-Bewegung
- Gleichmässige Dichtungskompression
- Flexibler D-Sub- und AMP-Anschluss
Vorteile:
- Herausragende Partikeleigenschaften
- Hohe Verfügbarkeit
- Zuverlässiger Betrieb
- Technische Daten
- Downloads
| Grössen | DN 10 mm (1.81" × 9.29") DN 12 mm (1.97" × 13.23") DN 14 mm (1.38" × 13.23") DN 15 mm (2.56" × 16.54") DN 20 mm (1.97" × 16.54") | ||
|---|---|---|---|
| Antrieb | Pneumatisch | ||
| Durchführung | Balg | ||
| Dichtheit | < 1 × 10-7 mbar ls-1 | ||
| Differenzdruck am Teller | in Schliessrichtung | ≤ 1 bar | |
| in Öffnungsrichtung | ≤ 0.1 bar | ||
| Differenzdruck bei Öffnung | ≤ 30 mbar | ||
| Zyklen bis zur ersten Wartung | ≥ 3 million | ||
| Antriebszeit | Öffnen | ≤ 1 s | |
| Schliessen | ≤ 1 s | ||
| Temperatur | Teller | ≤ 120 °C | |
| Antrieb | ≤ 80 °C | ||
| Werkstoff | Teller | Aluminium | |
| Balgschutz | Polytetrafluorethylen | ||
| Dichtung | FFKM, vulkanisiert | ||
| Einbaulage | Antrieb oben oder unten | ||
| Verriegelung bei Drucklufteinbruch | Pneumatische Verriegelung | ||
| Lagemelder | Reed Swith | ||
| Gewicht | DN 10, DN 12, DN 15 DN 14, DN 20 | 8.5 kg /18.7 lbs 7.5 kg /16.5 lbs | |
