过程控制和隔离

用于半导体制造的控制和隔离的VAT真空阀组合总是根据特殊的要求而定制方案。根据不同的要求和应用领域，各个系列的性能参数和使用的阀门技术总是适应每个案例中客户的具体需求。其主要特点包括，可适应的打开和关闭周期，稳定的自适应密封，先进的控制器技术，可实现高精度的控制，防止颗粒的激活和释放，以及高制造质量，保证所制造的每个阀门都有确定的、稳定的性能参数。

要了解更多关于VAT真空阀解决方案如何解决控制和隔离方面的挑战，请从下面列出的系列中选择。