Das VAT-Vakuumventil-Portfolio für Dünnschicht-Beschichtungsprozesse ist auf einen präzisen, stabilen Betrieb auch bei wechselnden Prozessbedingungen ausgelegt. Wesentliche Merkmale sind dabei präzise Gasflusssteuerung auch bei kleinen Leitwerten, minimierte Restgas- und Partikelemission sowie ein modulares Design, um die benötigten Vakuumventile optimal auf die jeweiligen Prozessanforderungen auslegen zu können.

Um mehr darüber zu erfahren, wie eine VAT-Vakuumventillösung Herausforderungen in Dünnschicht-Beschichtungsprozessen lösen kann, wählen Sie bitte unten eines der Produkte aus.

Relevante Serien

04.2 - HV-Transferventil mit L-VAT
04.2 1 × 10-9 mbar to 1.2 bar (abs)

HV-Transferventil mit L-VAT

für Load-Lock- und Prozesskammer-Isolation
05.3 - HV-Transferventil-Insert mit L-MOTION
05.3 1 × 10-9 mbar to 1.1 bar (abs)

HV-Transferventil-Insert mit L-MOTION

Schnell & präzise, besonders geeignet für korrosive Prozesse
06.1 - Groß-Transferventil /-Insert mit TWINVAT
06.1

Groß-Transferventil /-Insert mit TWINVAT

Hohe Leistung für Display-Produktionssysteme
06.3 - Groß-Transferventil /-Insert mit TWINVAT
06.3

Groß-Transferventil /-Insert mit TWINVAT

Hohe Leistung für Display-Produktionssysteme - Version für Atmosphärendruck
06.6 - Groß-Transferventil /-Insert /-Tür mit SOLVAT
06.6

Groß-Transferventil /-Insert /-Tür mit SOLVAT

High Performance für PV- und andere große Beschichtungsanlagen
06.8 - Groß-Transferventil /-Insert /-Tür mit FLAPVAT
06.8

Groß-Transferventil /-Insert /-Tür mit FLAPVAT

High Performance für PV und andere große Beschichtungssysteme
07.0 - HV-Atmosphärentür-Insert mit LINVAT
07.0 1 × 10-10 mbar to 1 bar (abs)

HV-Atmosphärentür-Insert mit LINVAT

High Performance für EFEM und Load-Lock-Isolation
10.8 - UHV-Schieber
10.8 1 × 10-10 mbar to 1.2 bar (abs)

UHV-Schieber

Der Standard für UHV-Absperrung
12.1 - Schieber
12.1 1 × 10-7 mbar to 1.6 bar (abs)

Schieber

Der Standard für Vakuum-Absperrung
14.0 - HV-Schieber
14.0

HV-Schieber

Für die Standard-Hochzyklus-Vakuum-Absperrung
15.0 - Schieber
15.0 1 × 10-7 mbar to 1 bar (abs)

Schieber

Außergewöhnlich niedrige Stoß- und Partikelfreisetzung
15.1 - HV-Schieber
15.1 1 × 10-8 mbar to 1 bar (abs)

HV-Schieber

Außergewöhnlich niedrige Stoß- und Partikelfreisetzung
15.2 - UHV-Schieber
15.2 1 × 10-10 mbar to 1 bar (abs)

UHV-Schieber

Außergewöhnlich niedrige Stoß- und Partikelfreisetzung
16.8 - Großes HV-Pendel-Isolationsventil
16.8 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

Großes HV-Pendel-Isolationsventil

Kompaktes Design für große Vakuumvolumen und raue Bedingungen
20.3 - Klappenventil mit VATTERFLY
20.3 1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs)

Klappenventil mit VATTERFLY

Sichere Absperrung bei kontaminierenden und aggressiven Vakuum-Prozessen
21.1 - Gasdosierventil
21.1 1 × 10-7 mbar to 4 bar (abs)

Gasdosierventil

Kontrollierter, reproduzierbarer Gasstrom für Vakuumkammern
21.3 - Flutventil
21.3 1 × 10-8 mbar to 1 bar (abs)

Flutventil

Kontrolliertes Belüften von Vakuumsystemen
21.4 - Mini-Eck/Inline-Ventil
21.4

Mini-Eck/Inline-Ventil

Kompromisslose Zuverlässigkeit beim Dichten oder Entlüften ohne Druckluft
24.4 - Eckventil
24.4 1 × 10-7 mbar to 5 bar (abs)

Eckventil

Kompromisslose Zuverlässigkeit für große Volumenströme
24.5 - Inline-Ventil
24.5 1 × 10-7 mbar to 5 bar (abs)

Inline-Ventil

Kompromisslose Zuverlässigkeit für große Volumenströme
25.0 - HV-Zylinderventil (Eck-Version)
25.0 1 × 10-8 mbar to 3 bar (abs)

HV-Zylinderventil (Eck-Version)

Maximale Leitfähigkeit für raue Prozessumgebungen
26.4 - HV-Eckventil
26.4

HV-Eckventil

Zum Abpumpen und Entlüften von HV-Systemen.
26.5 - HV-Inline-Ventil
26.5 1 × 10-8 mbar to 5 bar (abs)

HV-Inline-Ventil

Kompromisslose Zuverlässigkeit
28.4 - UHV-Eckventil
28.4 5 × 10-10 mbar to 5 bar (abs)

UHV-Eckventil

Herausragend niedrige Ausgasungsrate
29.0 - HV-Eckventil mit Soft-Pump-Funktion
29.0 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

HV-Eckventil mit Soft-Pump-Funktion

Pumpen und Entlüften ohne Turbulenzen oder Druckimpulse (DN 25 - 80)
29.1 - HV-Inline-Ventil mit Soft-Pump-Funktion
29.1 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

HV-Inline-Ventil mit Soft-Pump-Funktion

Pumpen und Entlüften ohne Turbulenzen oder Druckimpulse
59.0 - UHV-Ganzmetall-Feindosierventil
59.0 UHV to 10 bar (abs)

UHV-Ganzmetall-Feindosierventil

Für extreme UHV-Anforderungen
61.3 - HV-Regelklappenventil
61.3 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

HV-Regelklappenventil

Schnelle, präzise Downstream-Druckregelung
61.6 - HV-Regel- und Isolations-Klappenventile
61.6 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

HV-Regel- und Isolations-Klappenventile

Schnelle, präzise Downstream-Druckregelung und -Absperrung
61.7 - HV-Regelklappenventil
61.7

HV-Regelklappenventil

Herausragende Druckregelung mit ausserordentlich niedrigem Leitwert
62.0 - HV-Eck-Regelventil
62.0 1 × 10-8 mbar to 1.4 bar (abs)

HV-Eck-Regelventil

Die Lösung für hohe Drücke und hohe Temperaturen
62.7 - Gasdosierventil
62.7 1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs)

Gasdosierventil

Herausragende Regelbarkeit von Gasströmen für Vakuumkammern
62.8 - HV-Gasdosierventil
62.8

HV-Gasdosierventil

Herausragende Regelbarkeit von Gasströmen für Vakuumkammern
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