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シリーズ

65.3 HV振子式コントロールバルブ

  • 65.3 - 65348-PAHE
65.3 - 65348-PAHE

シリーズ

65.3 HV振子式コントロールバルブ

品番
65348-PAHE
1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs)

SEMI,FPD製造装置の圧力制御と真空封止用に最適

  • 技術データ
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サイズ
DN 250 (10")
フランジ
ISO-F
材料
アルミニウム
アクチュエータ
ステッピングモーター
コントローラーインターフェース + センサー
Logic (A/D) / センサー 2つ
コントローラー構成
PFO
位置表示信号
非搭載
ソレノイド
非搭載
最小圧力
1 × 10-8 mbar
最大圧力
1.2 bar (abs)
コンダクタンス
22000 ls⁻¹
ゲートにかけ得る差圧
≤ 1 bar
バルブを開けるときの差圧
≤ 1 bar
閉→開
4 s
開→閉
3 s
圧力制御（スロットル） 高速時間
0.5 s
圧力制御（スロットル）デフォルト速度時間
0.9 s
圧縮空気の最大圧力
7 bar / 102 psi
圧縮空気の最小圧力
4 bar / 58 psi
重量
29 kg / 64 lbs
バルブ本体最大温度
≤ 120 °C
製品のアドオン
バルブ
温度管理
アクチュエータ
ゲート

65.3 HV振子式コントロールバルブ 65348-PAHE 製品データシート

PDF 254.95 KB

65.3 HV振子式コントロールバルブ 65348-PAHE 3次元CADファイル

ZIP 679.17 KB

65.3 HV振子式コントロールバルブ 65348-PAHE 2D寸法図

PDF 845.13 KB

スペアパーツ

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