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Nov. 18, 2025 Events

SEMICON Europa 2025

Besuchen Sie uns vom 18. bis 21. November in Deutschland auf der Messe München, Halle B1, Standnummer 245.

Okt. 27, 2025 Company

VAT eröffnet neuen Service Hub in Burkau, Deutschland

Okt. 16, 2025 Investoren Ad hoc

VAT Medienmitteilung zum Lagebericht des dritten Quartals 2025

Ad-hoc-Mitteilung gemäss Art. 53 KR

Okt. 14, 2025 Investoren General

Einladung – Telefonkonferenz zum Lagebericht des dritten Quartals 2025

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  3. Gasdosierventile

Gasdosierventile

Für die Regelung von Volumenströmen auch im Überdruckbereich. Merkmal: Sehr präzise Dosierung von Gasflüssen.

Größe (mm)

Flanschtyp

Ventilfunktion

Actuation

Controller

21.1 - Gasdosierventil
21.1 1 × 10-7 mbar to 4 bar (abs)

Gasdosierventil

Kontrollierter, reproduzierbarer Gasstrom für Vakuumkammern

22.0 - Membranventil
22.0 1 × 10-7 mbar to 5 bar (abs)

Membranventil

Die Mehrzwecklösung für Gase und Flüssigkeiten

59.0 - UHV-Ganzmetall-Feindosierventil
59.0 UHV to 10 bar (abs)

UHV-Ganzmetall-Feindosierventil

Für extreme UHV-Anforderungen

62.7 - Gasdosierventil
62.7 1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs)

Gasdosierventil

Herausragende Regelbarkeit von Gasströmen für Vakuumkammern

62.8 - HV-Gasdosierventil
62.8

HV-Gasdosierventil

Herausragende Regelbarkeit von Gasströmen für Vakuumkammern

Die VAT ist ein weltweit führendes Unternehmen in der Entwicklung von Hochvakuumlösungen, die für die Herstellung von Halbleitern, Displays und digitalen Technologien unverzichtbar sind.

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