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Sept. 10, 2025 Events

SEMICON Taiwan 2025

Treffen Sie uns von 10.–12. September in Taipeh im Nangang Exhibition Center, TaiNEX1, Halle 1 4F, Stand M0942 in China.

Sept. 4, 2025 Events

CSEAC 2025

Treffen Sie uns von 4.–6. September im Wuxi Taihu International Expo Center, Halle A6, Stand 468 in China.

Sept. 2, 2025 Events

SEMICON India 2025

Treffen Sie uns von 2.–4. September im Yashobhoomi (IICC), Halle 1, Stand 1472 in Neu-Delhi.

Aug. 29, 2025 Investoren Ad hoc

VAT kündigt Veränderung in der Geschäftsleitung an

Ad-hoc-Mitteilung gemäss Art. 53 KR

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  2. Vakuumventile
  3. Gasdosierventile

Gasdosierventile

Für die Regelung von Volumenströmen auch im Überdruckbereich. Merkmal: Sehr präzise Dosierung von Gasflüssen.

Größe (mm)

Flanschtyp

Ventilfunktion

Actuation

Controller

21.1 - Gasdosierventil
21.1 1 × 10-7 mbar to 4 bar (abs)

Gasdosierventil

Kontrollierter, reproduzierbarer Gasstrom für Vakuumkammern

22.0 - Membranventil
22.0 1 × 10-7 mbar to 5 bar (abs)

Membranventil

Die Mehrzwecklösung für Gase und Flüssigkeiten

59.0 - UHV-Ganzmetall-Feindosierventil
59.0 UHV to 10 bar (abs)

UHV-Ganzmetall-Feindosierventil

Für extreme UHV-Anforderungen

62.7 - Gasdosierventil
62.7 1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs)

Gasdosierventil

Herausragende Regelbarkeit von Gasströmen für Vakuumkammern

62.8 - HV-Gasdosierventil
62.8

HV-Gasdosierventil

Herausragende Regelbarkeit von Gasströmen für Vakuumkammern

Die VAT ist ein weltweit führendes Unternehmen in der Entwicklung von Hochvakuumlösungen, die für die Herstellung von Halbleitern, Displays und digitalen Technologien unverzichtbar sind.

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