Vakuumöfen
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62.7 Gasdosierventil
Herausragende Regelbarkeit von Gasströmen für Vakuumkammern
Produkt spezifizieren
Reproduzierbare Präzision über außerordentlich große Druckbereiche
Die Hauptanforderungen an ein modernes, automatisiertes Gasdosierventil sind der Grad seiner Regelbarkeit sowie die Fähigkeit, einer vordefinierten Durchflusseinstellung zuverlässig und präzise zu folgen. Die 62.7 Gasdosierventil-Baureihe vereinigt beides.
Die Serie 62.7 wird von einem elektromagnetischen Antrieb mit DN 5 mm (3/16") Anschlüssen angetrieben und kann den Druck innerhalb von 2 Dekaden in einem Bereich von < 1 x 10-8 mbar bis 2 bar sehr feinfühlig regeln. Das bedeutet, dass die Durchflusscharakteristik von der anfänglichen Öffnung bis zum vollen Leitwert bei jedem Druckniveau vollständig geregelt werden kann. Das bedeutet nicht nur, dass das 62.7 in seinem Betriebsbereich herausragend ist und nur eine Ventillösung bietet, wo normalerweise mehrere verschiedene Ventile erforderlich wären, das 62.7 bietet auch eine noch nie dagewesene Regelbarkeit.
Das spezielle Isolations- und Kontrollsystem des 62.7, ein Blenden- und Plattenmechanismus für den DN 5 ermöglichen ein sehr sanftes Öffnungsverhalten, das auch bei sehr niedrigem Leitwert keine Druckänderungsspitzen entstehen lässt.
Eine Durchflusskennlinie kann wahlweise über eine feste Einstellung definiert werden oder kann dynamisch gehandhabt werden, d. h. über den Controller des 62.7, wenn dieser mit einem Drucksensor im Prozess verbunden wird.
Getestet in tausenden von anspruchsvollen Anwendungen unter verschiedenen Prozessbedingungen hat das 62.7 seine herausragende Leistung bewiesen.
DN 5
Das 62.7 Gasdosierventil ist in Edelstahl mit kundenspezifischen Flanschen für DN 5 erhältlich. Durchflusskennlinien können direkt am externen Controller des 62.7 per PC-Anschluss oder über den Anschluss an eine PCU definiert werden.
Hauptmerkmale des 62.7 Gasdosierventil
Merkmale:
- Herausragend breiter Durchflussregelbereich
- Herausragende Regelbarkeit bei sehr kleinem Leitwert
- Integrierte Netzausfall-Abschaltfunktion
Vorteile:
- Bessere Prozesssteuerung
- Eine Ventillösung für verschiedene Druckregime
- Ausgezeichnete Zuverlässigkeit und Lebensdauer
- Niedrige Betriebskosten
Technische Daten
| DN 5 mm (3/16") | ||
|---|---|---|
| Antrieb | Elektromagnetisch | |
| Gehäusewerkstoff | Nichtrostender Stahl | |
| Durchführung | Schiebedurchführung | |
| Standard Flansche | Specific | |
| Dichheit | Ventilgehäuse, Ventilsitz | < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
| Druckbereich | Eingang Ausgäng |
< 1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs) < 1 × 10-8 mbar to 1 bar (abs) |
| Temperatur | Umgebung | 5 °C– 50°C |
| Werkstoff | Ventilgehäuse Teller |
AISI 316L (1.4404 oder 1.4435) AISI 430IL (1.4105IL) |
| Dichtung | Teller | FPM |
| Einbaulage | Beliebig | |
| Regelbarer Leitwert | 100 sccm, 500 sccm, 1000 sccm, 5000 sccm | |
| Betriebszeit | Öffnen / Schliessen | < 30 ms / < 30 ms |
| Steuerung | Analog 0 - 10VDC (max. 100 mA) | |
| Gewicht | 0.096 kg / 0.2 lbs |
