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Treffen Sie uns von 10.–12. September in Taipeh im Nangang Exhibition Center, TaiNEX1, Halle 1 4F, Stand M0942 in China.

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Treffen Sie uns von 4.–6. September im Wuxi Taihu International Expo Center, Halle A6, Stand 468 in China.

Sept. 2, 2025 Events

SEMICON India 2025

Treffen Sie uns von 2.–4. September im Yashobhoomi (IICC), Halle 1, Stand 1472 in Neu-Delhi.

Aug. 29, 2025 Investoren Ad hoc

VAT kündigt Veränderung in der Geschäftsleitung an

Ad-hoc-Mitteilung gemäss Art. 53 KR

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Vakuum-Transfertüren

Dichtet, im Gegensatz zu einem Transferventil, nur eine Vakuumkammer zum Beladen oder zu Bearbeitung ab. Die andere Seite der Tür befindet sich daher immer unter Atmosphärendruck. Alle VAT Lösungen werden auf die jeweilige Anwendung maßgeschneidert.

Größe (mm)

Flanschtyp

Ventilfunktion

Actuation

06.6 - Groß-Transferventil /-Insert /-Tür mit SOLVAT
06.6

Groß-Transferventil /-Insert /-Tür mit SOLVAT

High Performance für PV- und andere große Beschichtungsanlagen

06.8 - Groß-Transferventil /-Insert /-Tür mit FLAPVAT
06.8

Groß-Transferventil /-Insert /-Tür mit FLAPVAT

High Performance für PV und andere große Beschichtungssysteme

07.0 - HV-Atmosphärentür-Insert mit LINVAT
07.0 1 × 10-10 mbar to 1 bar (abs)

HV-Atmosphärentür-Insert mit LINVAT

High Performance für EFEM und Load-Lock-Isolation

07.7 - Groß-Transfertür-Insert mit L-VAT
07.7

Groß-Transfertür-Insert mit L-VAT

Herausragende Leistung für Display- und PV-Produktionssysteme

Die VAT ist ein weltweit führendes Unternehmen in der Entwicklung von Hochvakuumlösungen, die für die Herstellung von Halbleitern, Displays und digitalen Technologien unverzichtbar sind.

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